[發明專利]一種用于減少氣泡產生的供酸系統

在審

• 申請號: 202011611026.1
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112870827A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 鄧信甫;國天增;劉大威;陳丁堃
• 申請（專利權）人: 上海至純潔凈系統科技股份有限公司;至微半導體（上海）有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B01D35/01;B01D19/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 沈棟棟

1.一種用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，包括骨架、幫浦、加熱式緩沖器、主管路、輔助管路、酸液過濾器和固定閥件用板，其中，所述幫浦、所述加熱式緩沖器和所述酸液過濾器分別設于所述骨架上，且所述加熱式緩沖器和所述酸液過濾器位于所述幫浦的上側，所述加熱式緩沖器位于所述酸液過濾器的一側，所述幫浦通過所述主管路分別與所述酸液過濾器和所述加熱式緩沖器連接，所述加熱式緩沖器通過所述輔助管路與所述酸液過濾器連接，每一所述主管路分別通過一所述固定閥件用板與所述骨架連接固定。

2.如權利要求1所述的用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，還包括加熱膜，所述輔助管路以及每一所述主管路的外側分別覆蓋有所述加熱膜。

3.如權利要求1所述的用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，還包括配重塊，所述幫浦的一側設有所述配重塊。

4.如權利要求1所述的用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，還包括過濾器固定件，所述酸液過濾器的上端設有所述過濾器固定件。

5.如權利要求1所述的用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，每一所述主管路分別豎直設置。

6.如權利要求1所述的用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，還包括分流管路，所述酸液過濾器的上端設有兩出液口，每一所述出液口的一端分別連接一所述分流管路。

7.如權利要求6所述的用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，每一所述分流管路均包括第一管路和第二管路，且所述第一管路的一端與一所述出液口連接，所述第一管路的另一端與所述第二管路的一端連接。

8.如權利要求7所述的用于減少氣泡產生的供酸系統，其特征在于，所述第一管路與所述第二管路垂直。