[發明專利]刻蝕烘烤設備的外延片載具

有效

• 申請號: 202011609284.6
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112885768B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發明（設計）人: 王飛;劉華明;黃李園;薛濤
• 申請（專利權）人: 華燦光電（浙江）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01J37/32;C30B33/12
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 呂耀萍

1.一種刻蝕烘烤設備的外延片載具，其特征在于，所述外延片載具包括：基座(1)和放片支架(2)，

所述放片支架(2)包括第一立板(21)、第二立板(22)和放片組件(23)，所述第一立板(21)和所述第二立板(22)通過第一連接件(24)平行且相對設置，所述放片組件(23)設置在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之間以在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之間層疊放置若干外延片；

所述放片支架(2)通過所述第一立板(21)和所述第二立板(22)可拆卸地安裝在所述基座(1)上。

2.根據權利要求1所述的外延片載具，其特征在于，所述基座(1)包括：第一基板(11)和第二基板(12)，

所述第一基板(11)和所述第二基板(12)通過第二連接件(13)平行且相對設置，所述第一基板(11)和所述第二基板(12)的相對面上均設有放置槽(14)；

所述第一立板(21)與所述第一基板(11)上的放置槽(14)相配合，所述第二立板(22)與所述第二基板(12)上的放置槽(14)相配合。

3.根據權利要求2所述的外延片載具，其特征在于，所述第一基板(11)和所述第二基板(12)均包括相對且平行的第一側邊(111)和第二側邊(112)，

所述第一基板(11)和所述第二基板(12)的上均設有若干氣流孔(15)，

所述放置槽(14)靠近所述第一側邊(111)，所述氣流孔(15)靠近所述第二側邊(112)。

4.根據權利要求2所述的外延片載具，其特征在于，所述放片組件(23)包括：四根第一支撐桿(231)，

所述四根第一支撐桿(231)相平行地夾設在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之間，每根第一支撐桿(231)的兩端分別連在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)上，

每根第一支撐桿(231)的外壁在徑向設有第一卡槽(232)，每根第一支撐桿(231)上的第一卡槽(232)的數量為多個且沿每根第一支撐桿(231)的軸向間隔分布，每根第一支撐桿(231)在同一平面下的第一卡槽(232)截面的槽底連線與外延片的部分外輪廓相配合。

5.根據權利要求4所述的外延片載具，其特征在于，所述第一卡槽(232)包括槽口(233)和與所述槽口(233)連通的溝槽(236)，

所述槽口(233)包括相對的第一斜面(234)和第二斜面(235)，所述第一斜面(234)和所述第二斜面(235)分別與所述溝槽(236)的兩側側壁連接，

所述第一斜面(234)和所述第二斜面(235)之間的距離隨所述第一卡槽(232)的深度變小而變大。

6.根據權利要求5所述的外延片載具，其特征在于，所述第一斜面(234)與所述第二斜面(235)之間的夾角為60°。

7.根據權利要求5所述的外延片載具，其特征在于，所述溝槽(236)的寬度等于外延片的厚度。