[發(fā)明專利]一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011608724.6 | 申請日： | 2020-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN112775089A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馬菲;馬自成;張軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 四川永祥硅材料有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/04 | 分類號： | B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 李赫 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 清洗 廢水處理 系統(tǒng) | ||
1.一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，其特征在于：包括連通于清洗機(jī)下游的溢流槽組，所述溢流槽組包括若干漂洗槽、藥洗槽和超聲槽，所述漂洗槽的下游連通有中轉(zhuǎn)槽，所述中轉(zhuǎn)槽的下游連通有泵送管路，所述泵送管路上設(shè)置有供水泵，所述泵送管路的下游分別連通有與脫膠機(jī)連通的第一主管路和與插片機(jī)連通的第二主管路，所述第一主管路與所述第二主管路相并聯(lián)。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，其特征在于：所述中轉(zhuǎn)槽的下游還連通有直接與脫膠機(jī)相連通的直供管路，所述直供管路與所述泵送管路相并聯(lián)。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，其特征在于：所述直供管路上設(shè)置有電磁閥。
4.如權(quán)利要求1所述的硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，其特征在于：所述中轉(zhuǎn)槽與脫膠機(jī)一一對應(yīng)，所述溢流槽組與清洗機(jī)一一對應(yīng)，且每個所述中轉(zhuǎn)槽與至少兩個所述溢流槽組相連通。
5.如權(quán)利要求1所述的硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，其特征在于：每個所述溢流槽組內(nèi)有4個漂洗槽與所述中轉(zhuǎn)槽相連通。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于四川永祥硅材料有限公司，未經(jīng)四川永祥硅材料有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011608724.6/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
