[發(fā)明專(zhuān)利]一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011608724.6
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112775089A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬菲;馬自成;張軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 四川永祥硅材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/04
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李赫

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，包括連通于清洗機(jī)下游的溢流槽組，所述溢流槽組包括若干漂洗槽、藥洗槽和超聲槽，所述漂洗槽的下游連通有中轉(zhuǎn)槽，所述中轉(zhuǎn)槽的下游連通有泵送管路，所述泵送管路上設(shè)置有供水泵，所述泵送管路的下游分別連通有與脫膠機(jī)連通的第一主管路和與插片機(jī)連通的第二主管路，所述第一主管路與所述第二主管路相并聯(lián)。該系統(tǒng)能夠充分回收利用清洗機(jī)排放的廢水，有效避免資源浪費(fèi)并降低廢水排放壓力，同時(shí)能夠?yàn)槊撃z機(jī)供水，且其水溫能夠滿足脫膠機(jī)的工作需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片清洗設(shè)備配套系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前的清洗機(jī)在硅片清洗過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量廢水，這些廢水經(jīng)多個(gè)漂洗槽溢流濾清后再被凈化處理并最終排放至外部環(huán)境中，由于設(shè)備工作量大，排放水量較大，相關(guān)廢水處理設(shè)備的運(yùn)行壓力較大。

另一方面，脫膠機(jī)的加藥槽及噴淋槽等組件處工作運(yùn)行所需的水溫要求是高溫，常規(guī)系統(tǒng)供給至脫膠機(jī)處的水需升溫裝置進(jìn)行升溫，會(huì)產(chǎn)生能耗。而上述清洗機(jī)的漂洗槽內(nèi)的水體在設(shè)備影響下仍能保持較高的水溫，且處于漂洗槽內(nèi)的水體經(jīng)由上游多級(jí)漂洗槽逐級(jí)溢流濾清后已較為純凈，其水質(zhì)及水溫完全能夠滿足脫膠機(jī)的使用需求。

因此，如何對(duì)清洗機(jī)排放的廢水加以利用，避免資源浪費(fèi)并降低廢水排放壓力，同時(shí)保證供給至脫膠機(jī)處的水溫能夠滿足其工作需求是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的重要技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠充分回收利用清洗機(jī)排放的廢水，有效避免資源浪費(fèi)并降低廢水排放壓力，同時(shí)能夠?yàn)槊撃z機(jī)供水，且其水溫能夠滿足脫膠機(jī)的工作需求。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，包括連通于清洗機(jī)下游的溢流槽組，所述溢流槽組包括若干漂洗槽、藥洗槽和超聲槽，所述漂洗槽的下游連通有中轉(zhuǎn)槽，所述中轉(zhuǎn)槽的下游連通有泵送管路，所述泵送管路上設(shè)置有供水泵，所述泵送管路的下游分別連通有與脫膠機(jī)連通的第一主管路和與插片機(jī)連通的第二主管路，所述第一主管路與所述第二主管路相并聯(lián)。

優(yōu)選地，所述中轉(zhuǎn)槽的下游還連通有直接與脫膠機(jī)相連通的直供管路，所述直供管路與所述泵送管路相并聯(lián)。

優(yōu)選地，所述直供管路上設(shè)置有電磁閥。

優(yōu)選地，所述中轉(zhuǎn)槽與脫膠機(jī)一一對(duì)應(yīng)，所述溢流槽組與清洗機(jī)一一對(duì)應(yīng)，且每個(gè)所述中轉(zhuǎn)槽與至少兩個(gè)所述溢流槽組相連通。

優(yōu)選地，每個(gè)所述溢流槽組內(nèi)有4個(gè)漂洗槽與所述中轉(zhuǎn)槽相連通。

相對(duì)上述背景技術(shù)，本發(fā)明所提供的硅片清洗廢水處理系統(tǒng)，其工作運(yùn)行過(guò)程中，各漂洗槽內(nèi)經(jīng)溢流濾清后的水匯流至中轉(zhuǎn)槽內(nèi)被集中儲(chǔ)存，之后通過(guò)供水泵將中轉(zhuǎn)槽內(nèi)較為純凈且仍保持較高溫度的水經(jīng)由第一主管路泵送至脫膠機(jī)及插片機(jī)處，以滿足脫膠機(jī)的加藥槽和噴淋槽以及插片機(jī)相關(guān)組件的工作需求。整個(gè)廢水處理系統(tǒng)運(yùn)行高效，且僅需利用現(xiàn)有設(shè)備進(jìn)行簡(jiǎn)單的管路改造即可運(yùn)行，設(shè)計(jì)成本和改裝成本較低，能夠大幅降低硅片清洗后的廢水處理和排放壓力，提高廢水利用率，并能夠?yàn)槊撃z機(jī)和插片機(jī)等設(shè)備提供具備較高溫度且較為純凈的水，以滿足相應(yīng)設(shè)備的工作需求，無(wú)需另供純凈水，大幅降低了設(shè)備整體運(yùn)行成本。

在本發(fā)明的另一優(yōu)選方案中，所述中轉(zhuǎn)槽的下游還連通有直接與脫膠機(jī)相連通的直供管路，所述直供管路與所述泵送管路相并聯(lián)。若管路內(nèi)水壓較為充足且插片機(jī)的供水需求不大，則可經(jīng)由直供管路直接為脫膠機(jī)供水，從而進(jìn)一步降低經(jīng)由管路供給至脫膠機(jī)處的水溫?fù)p耗和水體損失。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。