[發明專利]一種精控式蝕刻液及其蝕刻方法

在審

• 申請號: 202011608508.1
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112941516A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 馬文勇
• 申請（專利權）人: 蘇州運宏電子有限公司
• 主分類號: C23F1/16
• 分類號: C23F1/16;C23F1/02
• 代理公司: 無錫風創知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32461
• 代理人: 邱國棟

本發明公開一種精控式蝕刻液及其蝕刻方法，精控式蝕刻液包括過氧化氫穩定劑25～30份，過氧化氫3～4份，三氯化鐵0.8～5份，有機酸1～1.3份，蝕刻抑制劑0.2～0.4份，增稠助劑2～5份，螯合劑0.2～0.4份，去離子水72～90份，所述蝕刻抑制劑采用長鏈形酮基化合物，所述增稠助劑采用乙醇胺氯化物，所述螯合劑采用二齒螯合物，使得整體的精控式蝕刻液獲得足夠的粘度，蝕刻方式是采用限制精控式蝕刻液運動范圍并利用加熱鼓風裝置保持精控式蝕刻液保持流動性并在精密控制的前提下進行蝕刻作業，本發明的優點在于蝕刻液可以穩定控制行進，實現了提高蝕刻作業控制的精密度的技術效果。

技術領域

本發明涉及蝕刻工藝領域，具體地說，是一種精控式蝕刻液及其蝕刻 方法。

背景技術

隨著電子領域的快速發展，PCB也得到越來越廣泛地應用，蝕刻是電 路板生產過程中重要的工藝，現有技術中一般采用濃鹽酸進行蝕刻，但是 濃鹽酸在空氣中極易揮發，由于濃鹽酸的強揮發性，其揮發出來的氯化氫 氣體會和空氣中的水蒸氣結合，形成鹽酸煙霧擴散在空氣中，使得生產車 間不僅有較強的刺激性味道，操作員吸入鹽酸煙霧會影響身體健康，尾氣 直接排放會污染環境，不符合環保、安全要求，如果進行尾氣成本處理高。 另外，使用濃鹽酸的蝕刻速度慢。因此，如何克服現有的酸性蝕刻液中的 不足，開發設計出一種環保型酸性蝕刻液，改善車間環境，降低環境污染， 控制線路板的蝕刻率成為企業亟待解決的問題。

發明內容

發明目的：本發明目的在于針對現有技術的不足，提供一種精控式蝕 刻液及其蝕刻方法。

技術方案：本發明所述一種精控式蝕刻液，包括以下組分：

過氧化氫穩定劑25～30份，過氧化氫3～4份，三氯化鐵0.8～5份，有 機酸1～1.3份，蝕刻抑制劑0.2～0.4份，增稠助劑2～5份，螯合劑0.2～0.4 份，去離子水72～90份；

所述蝕刻抑制劑采用長鏈形酮基化合物，所述增稠助劑采用乙醇胺氯 化物，所述螯合劑采用二齒螯合物，所述有機酸采用草酸、酒石酸、檸檬 酸、乙酸、乙醇酸、馬來酸、琥珀酸、蘋果酸、水楊酸、苯甲酸、丁二酸、 乳酸中的至少一種；

所述二齒螯合物采用乙二胺、2,2'-聯吡啶、1,10-二氮菲、草酸根中的 至少一種；

所述增稠助劑采用單乙醇胺氯化物或雙乙醇胺氯化物中的一種；

整體液相環境調節pH值至3～5。

作為優選的，所述二齒螯合物采用2,2'-聯吡啶，所述有機酸采用水楊 酸。

作為優選的，所述二齒螯合物和有機酸均采用草酸。

作為優選的，所述增稠助劑采用雙乙醇胺氯化物。

使用這一精控式蝕刻液的蝕刻方法，包括以下步驟：

S1、劃定蝕刻圖案范圍，進行并完成絲網印刷；

S2、沿絲網印刷構建的蝕刻線配置嵌入式限位框；

S3、沿嵌入式限位框注入精控式蝕刻液；

S4、配置加熱鼓風裝置，沿嵌入式限位框利用空壓推動精控式蝕刻液 使之沿嵌入式限位框的沿伸方向穩速流動并完成蝕刻作業。

本發明相比于現有技術具有以下有益效果：蝕刻抑制劑采用長鏈形酮 基化合物，增稠助劑采用乙醇胺氯化物，螯合劑采用二齒螯合物，使得整 體的精控式蝕刻液獲得足夠的粘度，蝕刻方式是采用限制精控式蝕刻液運 動范圍并利用加熱鼓風裝置保持精控式蝕刻液保持流動性并在精密控制的 前提下進行蝕刻作業，實現了提高蝕刻作業控制的精密度的技術效果。

具體實施方式