[發(fā)明專利]一種紅外熱電堆傳感器的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011606853.1
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN112736185B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓鳳芹;向陽輝;丁敬秀
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司
• 主分類號: H10N10/01
• 分類號: H10N10/01;H10N10/17;H10N19/00;H01C17/14;H01C17/12;H01C7/00
• 代理公司: 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11614
• 代理人: 張立君

本發(fā)明提供了一種紅外熱電堆傳感器的制造方法，包括基板以及形成在所述基板上的熱敏電阻，其中在所述基板上形成所述熱敏電阻的方法包括：提供基板；通過沉積工藝在所述基板上形成熱敏電阻薄膜層；圖形化所述熱敏電阻薄膜層，形成所述熱敏電阻；在所述熱敏電阻的兩端通過沉積工藝形成電極，以實現(xiàn)對所述熱敏電阻的電性連接。本發(fā)明在基板上通過半導(dǎo)體工藝形成熱敏電阻，熱電堆也形成在同一基板上，可以在形成熱敏電阻之后或之前或形成熱敏電阻時形成熱電堆，可以實現(xiàn)熱敏電阻與熱電堆的更好集成。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及紅外測溫領(lǐng)域，尤其涉及一種紅外熱電堆傳感器的制造方法。

背景技術(shù)

在門類繁多的傳感器當(dāng)中，溫度傳感器在應(yīng)用領(lǐng)域和數(shù)量方面都是首屈一指的。隨著現(xiàn)代電子技術(shù)的發(fā)展，溫度傳感器在工業(yè)技術(shù)、科學(xué)研究及日常生活中得到了日益廣泛的應(yīng)用，以熱電堆為感溫元件的溫度傳感器被廣泛應(yīng)用于溫度測量、控制等領(lǐng)域。由于各行業(yè)對溫度控制的需求越來越嚴格和精密，對產(chǎn)品的可靠性要求更加苛刻，體積要求更小，靈敏度要求更高，安裝和使用要求更方便。

目前制造的紅外熱電堆傳感器通常集成有熱敏電阻，在制造紅外熱電堆傳感器時分別制造熱電堆結(jié)構(gòu)和熱敏電阻，之后將熱敏電阻和熱電堆分別焊接在封裝殼內(nèi)。這樣的制造方法使熱電堆結(jié)構(gòu)和熱敏電阻集成性不好，紅外熱電堆傳感器的體積無法進一步縮小。

因此，期待一種新的紅外熱電堆傳感器的制造方法。能夠在制造熱敏電阻時更好的與熱電堆結(jié)構(gòu)實現(xiàn)集成，以簡化工藝、滿足小型化及批量化生產(chǎn)的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明揭示了一種紅外熱電堆傳感器的制造方法，能夠解決熱電堆結(jié)構(gòu)和熱敏電阻集成度不好的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種紅外熱電堆傳感器的制造方法，包括基板以及形成在所述基板上的熱敏電阻，其中在所述基板上形成所述熱敏電阻的方法包括：

提供基板；

通過沉積工藝在所述基板上形成熱敏電阻薄膜層；

圖形化所述熱敏電阻薄膜層，形成所述熱敏電阻；

在所述熱敏電阻的兩端通過沉積工藝形成電極，以實現(xiàn)對所述熱敏電阻的電性連接。

本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明在基板上通過半導(dǎo)體工藝形成熱敏電阻，熱電堆也形成在同一基板上，可以在形成熱敏電阻之后或之前或形成熱敏電阻時形成熱電堆，可以實現(xiàn)熱敏電阻與熱電堆的更好集成。

附圖說明

通過結(jié)合附圖對本發(fā)明示例性實施例進行更詳細的描述，本發(fā)明的上述以及其它目的、特征和優(yōu)勢將變得更加明顯，在本發(fā)明示例性實施例中，相同的參考標(biāo)號通常代表相同部件。

圖1至圖5示出了本發(fā)明一實施例的一種紅外熱電堆傳感器的制造方法中不同步驟對應(yīng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

10-基板；11-隔熱空腔；20-熱敏電阻薄膜層；21-熱敏電阻；30-電極；40-熱電堆結(jié)構(gòu)，13-下蓋板；14-導(dǎo)電凸塊；22-第一電連接部；23-第二電連接部；24-吸收層；25-鈍化層；220-第一焊球；230-第二焊球；300-頂蓋；31-第一空腔。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。根據(jù)下面的說明和附圖，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚，然而，需說明的是，本發(fā)明技術(shù)方案的構(gòu)思可按照多種不同的形式實施，并不局限于在此闡述的特定實施例。附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。