[發明專利]一種硅基OLED微顯示屏及應用于該顯示屏的Micro Lens的制造方法

在審

• 申請號: 202011606601.9
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112635513A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 王健波;吳遠武;王紹華;吳迪
• 申請（專利權）人: 湖畔光電科技（江蘇）有限公司
• 主分類號: H01L27/15
• 分類號: H01L27/15;H01L33/50;H01L33/58;G03F7/00
• 代理公司: 南京勤行知識產權代理事務所(普通合伙) 32397
• 代理人: 陳燁

本發明涉及微型顯示技術領域，尤其是一種硅基OLED微顯示屏及應用于該顯示屏的Micro Lens的制造方法；包括硅基OLED微顯示屏和具有Micro Lens結構的蓋板玻璃，所述蓋板玻璃上有Micro Lens結構，Micro Lens結構包括若干微結構一，位于每個微結構一上的微結構二，以及位于每個微結構二上方的光刻膠微結構，每個光刻膠微結構包覆微結構一和微結構二設置，本發明是基于蓋板玻璃制作，在玻璃刻蝕出微結構，之后再在襯底表面用有機材料制作出微透鏡，玻璃微結構和微透鏡一起組成Micro Lens，相比于只是采用光刻膠材料制作出的Micro Lens，亮度能夠提升30％以上。

技術領域

本發明涉及微型顯示技術領域，尤其是一種硅基OLED微顯示屏及應用于硅基OLED微顯示屏的Micro Lens的制造方法。

背景技術

在微型顯示技術領域，硅基MicroOLED是近幾年發展較為快速的技術，而且已經開始進入商用量產階段。目前硅基OLED微顯示屏彩色化大多采用白光加彩色濾光膜(Colorfilter，簡稱CF)的方案，亮度基本都在1500cd/m²以內，而市場越來越多的產品對其亮度要求在3000cd/m²以上。現有的OLED器件依靠材料和器件優化，提升的亮度有限，并且隨著亮度提升，器件的壽命也會受到影響。

基于硅基OLED襯底直接制作Micro Lens對制作材料要求很高，需要低溫(90℃)就能固化形成lens結構。目前能夠達到2um以內分辨率并且是低溫制作工藝的材料，價格非常高，并且只有少數材料廠商才能夠提供。同時，基于硅基OLED襯底直接制作Micro Lens的工藝控制要求較高，良率提升有一定難度。

基于蓋板玻璃，只采用光刻膠固化制作Micro Lens的方法，對于亮度的提升有一定效果，但是還可以提升的更高。

發明內容

本發明的目的是：克服現有技術中的不足，提供一種亮度高的硅基OLED微顯示屏。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案如下：

一種硅基OLED微顯示屏，包括硅基OLED微顯示屏和具有Micro Lens結構的蓋板玻璃，顯示屏和蓋板玻璃之間通過貼合膠連接，所述硅基OLED微顯示屏包括從上到下依次層疊設置的彩色濾光膜、薄膜封裝層、OLED層和硅基CMOS驅動背板；

所述蓋板玻璃與硅基OLED微顯示屏的接觸面上有Micro Lens結構，所述MicroLens結構包括若干微結構一，位于每個微結構一上的微結構二，以及位于每個微結構二上方的光刻膠微結構，每個光刻膠微結構包覆微結構一和微結構二設置，若干光刻膠微結構等間距設置。

進一步的，所述光刻膠微結構、微結構一和微結構二的中心相同。

進一步的，所述微結構一的橫截面為矩形圖形，所述光刻膠圖形的橫截面的寬度為0.4μm～0.8μm，所述矩形圖形的長寬比為(1:1)～(1:3)，微結構一的高度為0.2μm～0.5μm。

進一步的，所述若干微結構一中相鄰微結構一之間的間距為2～5μm。

進一步的，所述微結構二的橫截面為矩形圖形，所述光刻膠圖形的橫截面的寬度為1～1.2um，所述矩形圖形的長寬比為(1:1)～(1:3)，微結構二的高度為0.2um～0.5um。

進一步的，所述若干微結構二中相鄰微結構二之間的間距為2～5μm。

進一步的，所述光刻膠微結構為半球形結構。

進一步的，所述半球形結構的底面為圓形或橢圓形，當其為圓形時，其直徑為1.5～3um；當其為橢圓形時，其短軸長度為1.5～3um，其長軸和短軸的直徑為(1:1.1)～(1:3)，所述半球形結構的高度為光刻膠的厚度為1.2～3um。