[發明專利]光微影設備在審
| 申請號： | 202011606020.5 | 申請日： | 2020-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN113126446A | 公開（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發明（設計）人： | 林震洋;于大衛;王立行;林冠文;陳嘉仁;李信昌 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F1/82 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光微影 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種光微影設備，其特征在于，包含：
一光罩；
一粒子移除匣；
一腔室，其封閉該光罩及該粒子移除匣；及
一控制器，其與該粒子移除匣連接，
其中該粒子移除匣可選擇性地自該腔室延伸，且包含：
一吹風裝置；
一排氣裝置；及
一支撐裝置。
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