[發(fā)明專利]光微影設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011606020.5
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN113126446A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林震洋;于大衛(wèi);王立行;林冠文;陳嘉仁;李信昌
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/82
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種光微影設(shè)備，其特征在于，包含：

一光罩；

一粒子移除匣；

一腔室，其封閉該光罩及該粒子移除匣；及

一控制器，其與該粒子移除匣連接，

其中該粒子移除匣可選擇性地自該腔室延伸，且包含：

一吹風(fēng)裝置；

一排氣裝置；及

一支撐裝置。