[發(fā)明專利]一種高精度電容薄膜真空計(jì)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011604898.5
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN112834110A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯少毅;胡瑯;胡強(qiáng);徐平;何斌;黎天韻;郭遠(yuǎn)軍;衛(wèi)紅;黃麗玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 季華實(shí)驗(yàn)室
• 主分類號(hào): G01L21/00
• 分類號(hào): G01L21/00
• 代理公司: 佛山市海融科創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44377
• 代理人: 陳志超;黃家豪

本發(fā)明提供了一種高精度電容薄膜真空計(jì)，包括:殼體,具有一容置腔;兩個(gè)感應(yīng)膜片，平行地設(shè)置在所述容置腔中，并把所述容置腔分隔為參考真空室和兩個(gè)待測(cè)腔室，且兩個(gè)所述待測(cè)腔室分別位于所述參考真空室的兩側(cè)；兩個(gè)所述待測(cè)腔室之間連通，且均與所述參考真空室隔離；連接管，與其中一個(gè)待測(cè)腔室連通；固定基板，設(shè)在所述參考真空室中并與兩個(gè)所述感應(yīng)膜片平行；固定基板的兩側(cè)分別設(shè)置有導(dǎo)電膜，所述固定基板兩側(cè)的導(dǎo)電膜分別與相鄰的感應(yīng)膜片組成電容器；該電容薄膜真空計(jì)的測(cè)量精度和靈敏度較高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高精度電容薄膜真空計(jì)。

背景技術(shù)

電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)，具有結(jié)構(gòu)緊湊、靈敏度搞、穩(wěn)定性好、測(cè)量值與氣體成分無(wú)關(guān)、有較強(qiáng)的抗腐蝕性能及使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體裝備中的核心零部件。

一般的電容薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)如圖4所示，包括殼體1’、連接管2’、 感應(yīng)膜片3’、固定電極4’、吸氣機(jī)構(gòu)5’、抽氣口6’以及相應(yīng)的信號(hào)轉(zhuǎn)換電路，其中，感應(yīng)膜片3’把殼體1’的內(nèi)腔分隔為真空腔7’和檢測(cè)腔8’， 吸氣機(jī)構(gòu)5’（內(nèi)含消氣劑）、抽氣口6’與真空腔7’連通，連接管2’與檢測(cè)腔8’連通。其工作原理是：感應(yīng)膜片3’與固定電極4’連接外部電源后相當(dāng)于電容的兩個(gè)電極，通過(guò)連接管2’連接待檢測(cè)對(duì)象（腔體或管道），然后對(duì)真空腔7’抽真空，使真空腔7’與檢測(cè)腔8’之間產(chǎn)生壓差而導(dǎo)致感應(yīng)膜片3’變形，從而使真空腔7’與檢測(cè)腔8’之間的距離產(chǎn)生變化，進(jìn)而使電容發(fā)生變化，通過(guò)轉(zhuǎn)換電路把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號(hào)；所以，它的測(cè)量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無(wú)關(guān)。

這種電容薄膜真空計(jì)的感壓膜片與固定電極形成的平行板電容器傳感組件電容值很小，為皮法級(jí)，因此壓力變化引起的電容變化也很小，從而大大增加了電容信號(hào)的處理難度，影響電容薄膜真空計(jì)的精度和靈敏度。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明的目的在于提供一種高精度電容薄膜真空計(jì)，其測(cè)量精度和靈敏度較高。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采取了以下技術(shù)方案：

一種高精度電容薄膜真空計(jì)，包括:

殼體, 具有一容置腔;

兩個(gè)感應(yīng)膜片，平行地設(shè)置在所述容置腔中，并把所述容置腔分隔為參考真空室和兩個(gè)待測(cè)腔室，且兩個(gè)所述待測(cè)腔室分別位于所述參考真空室的兩側(cè)；兩個(gè)所述待測(cè)腔室之間連通，且均與所述參考真空室隔離；

連接管，與其中一個(gè)待測(cè)腔室連通；

固定基板，設(shè)在所述參考真空室中并與兩個(gè)所述感應(yīng)膜片平行；固定基板的兩側(cè)分別設(shè)置有導(dǎo)電膜，所述固定基板兩側(cè)的導(dǎo)電膜分別與相鄰的感應(yīng)膜片組成電容器。

所述的高精度電容薄膜真空計(jì)中，兩個(gè)所述感應(yīng)膜片與相應(yīng)的導(dǎo)電膜之間的距離相等。

所述的高精度電容薄膜真空計(jì)，還包括引出電極，所述引出電極一端與所述所述固定基板兩側(cè)的導(dǎo)電膜連接，另一端伸出所述殼體外部。

進(jìn)一步的，所述固定基板絕緣，所述固定基板中設(shè)置有導(dǎo)電體，所述導(dǎo)電體的兩端分別與所述固定基板兩側(cè)的導(dǎo)電膜連接，所述引出電極一端與所述導(dǎo)電體連接。

所述的高精度電容薄膜真空計(jì)中，所述殼體的外側(cè)連接有連通管，所述連通管用于連通兩個(gè)所述待測(cè)腔室。

所述的高精度電容薄膜真空計(jì)中，所述殼體上還設(shè)置有抽氣孔和吸氣機(jī)構(gòu)；所述抽氣孔與所述參考真空室連通，并用于與外部的抽氣裝置連接；所述吸氣機(jī)構(gòu)包括與所述參考真空室連通的容納腔，所述容納腔內(nèi)設(shè)置有消氣劑。

所述的高精度電容薄膜真空計(jì)中，所述連接管根部設(shè)置有擋板，所述擋板上設(shè)置有多個(gè)篩孔。

所述的高精度電容薄膜真空計(jì)中，所述連接管外周面上設(shè)置有散熱翎片。