[發明專利]一種高精度電容薄膜真空計在審
| 申請號： | 202011604898.5 | 申請日： | 2020-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN112834110A | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發明（設計）人： | 侯少毅;胡瑯;胡強;徐平;何斌;黎天韻;郭遠軍;衛紅;黃麗玲 | 申請（專利權）人： | 季華實驗室 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科創知識產權代理事務所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陳志超;黃家豪 |
| 地址： | 528200 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高精度 電容 薄膜 真空計 | ||
1.一種高精度電容薄膜真空計，其特征在于，包括:
殼體, 具有一容置腔;
兩個感應膜片，平行地設置在所述容置腔中，并把所述容置腔分隔為參考真空室和兩個待測腔室，且兩個所述待測腔室分別位于所述參考真空室的兩側；兩個所述待測腔室之間連通，且均與所述參考真空室隔離；
連接管，與其中一個待測腔室連通；
固定基板，設在所述參考真空室中并與兩個所述感應膜片平行；固定基板的兩側分別設置有導電膜，所述固定基板兩側的導電膜分別與相鄰的感應膜片組成電容器。
2.根據權利要求1所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，兩個所述感應膜片與相應的導電膜之間的距離相等。
3.根據權利要求1所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，還包括引出電極，所述引出電極一端與所述所述固定基板兩側的導電膜連接，另一端伸出所述殼體外部。
4.根據權利要求3所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，所述固定基板絕緣，所述固定基板中設置有導電體，所述導電體的兩端分別與所述固定基板兩側的導電膜連接，所述引出電極一端與所述導電體連接。
5.根據權利要求1所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，所述殼體的外側連接有連通管，所述連通管用于連通兩個所述待測腔室。
6.根據權利要求1所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，所述殼體上還設置有抽氣孔和吸氣機構；所述抽氣孔與所述參考真空室連通，并用于與外部的抽氣裝置連接；所述吸氣機構包括與所述參考真空室連通的容納腔，所述容納腔內設置有消氣劑。
7.根據權利要求1所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，所述連接管根部設置有擋板，所述擋板上設置有多個篩孔。
8.根據權利要求1所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，所述連接管外周面上設置有散熱翎片。
9.根據權利要求1所述的高精度電容薄膜真空計，其特征在于，所述連接管內設置有雜質分離機構，所述雜質分離機構用于把顆粒物和液滴從流過所述連接管的氣流中分離出來。
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