[發明專利]一種離心綁定ITO旋轉靶材的方法

有效

• 申請號: 202011603040.7
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112831764B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 鄭保昌;史偉;衛義成;鐘雪琴;歐陽光華;萬如意
• 申請（專利權）人: 湖南柯盛新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 長沙鑫澤信知識產權代理事務所(普通合伙) 43247
• 代理人: 刁飛

本發明公開了一種離心綁定ITO旋轉靶材的方法，屬于ITO旋轉靶材加工技術領域，該方法包括以下步驟：S1、預處理：對ITO靶管內壁和背管外表面進行金屬化處理；S2、組裝：將背管從電熱管上方往下插入，以使背管插設在安裝座頂面插槽內，并使安裝座上的定位筒插設在背管內；將單節ITO靶管套在背管上，并使ITO靶管插設在安裝座頂面插槽內，ITO靶管與背管之間設有間隙；S3、灌銦綁定：由下往上對單節ITO靶管進行逐步綁定。本發明通過轉動離心，使得熔化后的銦將緊貼ITO靶管內壁，綁定率較好。

技術領域

本發明涉及ITO旋轉靶材加工技術領域，更具體地說，它涉及一種離心綁定ITO旋轉靶材的方法。

背景技術

旋轉靶材是磁控的靶材，主要應用于太陽能電池、建筑玻璃、汽車玻璃、半導體、平板電視等領域。靶材為圓筒型，里面裝有靜止不動的磁體，以慢速轉動。ITO是一種N型氧化物半導體-氧化銦錫，作為納米銦錫金屬氧化物，具有很好的導電性和透明性，可以切斷對人體有害的電子輻射、紫外線及遠紅外線。因此，銦錫氧化物通常噴涂在玻璃、塑料及電子顯示屏上，用作透明導電薄膜，同時減少對人體有害的電子輻射及紫外、紅外。

由于旋轉靶材為圓筒狀，套在背管外，兩者之間的縫隙不大，因此在縫隙中灌注銦，比較困難，易造成空隙，綁定率不夠穩定。另一個方面，液態銦在流動中，容易產生氧化物，這些氧化物夾在銦層中，會造成電阻升高，使用時，容易出現局部過熱等問題。也會影響兩者之間的結合以及綁定率。而在旋轉靶材的綁定中，很難清理縫隙中的氧化物。

有鑒于此，本發明提供一種新型的離心綁定ITO旋轉靶材的方法。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明的目的在于提供一種離心綁定ITO旋轉靶材的方法。

為實現上述目的，本發明提供了如下技術方案：

一種離心綁定ITO旋轉靶材的方法，包括以下步驟：

S1、預處理

對ITO靶管內壁和背管外表面進行金屬化處理；

S2、組裝

將背管從電熱管上方往下插入，以使背管插設在安裝座頂面插槽內，并使安裝座上的定位筒插設在背管內；將單節ITO靶管套在背管上，并使ITO靶管插設在安裝座頂面插槽內，ITO靶管與背管之間設有間隙；

S3、灌銦綁定

通過電熱管對ITO靶管和背管進行加熱，待加熱到160-170℃，將熔化的銦灌入ITO靶管與背管之間的間隙中；將壓環從背管上方套入，以使壓環壓在ITO靶管頂面，壓環內徑與背管外徑相同；將限位塊插在連接桿上，連接桿下端固定在安裝座上，推動限位塊直至限位塊與背管外表面接觸，調節限位塊上下位置，以使限位塊底面與壓環頂面抵緊，然后再通過螺栓將限位塊與連接桿固定；將固定板蓋設在背管和電熱管頂部，以使固定板支撐在連接桿上的支撐環上，背管插設在固定板底部凹槽中，電熱管插設在固定板底部限位槽中，連接桿穿過固定板；然后在連接桿上端擰緊螺母，以使固定板通過連接桿限位在螺母和支撐環之間；啟動電機并停止加熱，以通過安裝座帶動ITO靶管、背管、固定板旋轉，直至間隙內充滿液態銦；待銦降溫凝固后，進行下一節ITO靶管的綁定，以由下往上對單節ITO靶管進行逐步綁定。

進一步優選為：下一節ITO靶管的綁定過程如下：

將所述固定板和所述限位塊拆下，并將所述壓環取出，然后依次套上密封圈和待綁定的ITO靶管，以使密封圈抵緊在綁定好ITO靶管和待綁定ITO靶管之間；然后重復步驟S3，對待綁定ITO靶管進行灌銦綁定。

進一步優選為：所述密封圈為純銅密封圈且厚度為0.35-0.4mm。

進一步優選為：所述ITO靶管內壁金屬化處理過程如下：