[發(fā)明專利]一種離心綁定ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011603040.7
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112831764B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭保昌;史偉;衛(wèi)義成;鐘雪琴;歐陽光華;萬如意
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南柯盛新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 長沙鑫澤信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43247
• 代理人: 刁飛

1.一種離心綁定ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1、預(yù)處理

對ITO靶管(13)內(nèi)壁和背管(5)外表面進(jìn)行金屬化處理；

S2、組裝

將背管(5)從電熱管(6)上方往下插入，以使背管(5)插設(shè)在安裝座(27)頂面插槽(17)內(nèi)，并使安裝座(27)上的定位筒(11)插設(shè)在背管(5)內(nèi)；將單節(jié)ITO靶管(13)套在背管(5)上，并使ITO靶管(13)插設(shè)在安裝座(27)頂面插槽(17)內(nèi)，ITO靶管(13)與背管(5)之間設(shè)有間隙(7)；

S3、灌銦綁定

通過電熱管(6)對ITO靶管(13)和背管(5)進(jìn)行加熱，待加熱到160-170℃，將熔化的銦灌入ITO靶管(13)與背管(5)之間的間隙(7)中；將壓環(huán)(12)從背管(5)上方套入，以使壓環(huán)(12)壓在ITO靶管(13)頂面，壓環(huán)(12)內(nèi)徑與背管(5)外徑相同；將限位塊(9)插在連接桿(4)上，連接桿(4)下端固定在安裝座(27)上，推動限位塊(9)直至限位塊(9)與背管(5)外表面接觸，調(diào)節(jié)限位塊(9)上下位置，以使限位塊(9)底面與壓環(huán)(12)頂面抵緊，然后再通過螺栓將限位塊(9)與連接桿(4)固定；將固定板(8)蓋設(shè)在背管(5)和電熱管(6)頂部，以使固定板(8)支撐在連接桿(4)上的支撐環(huán)(18)上，背管(5)插設(shè)在固定板(8)底部凹槽(21)中，電熱管(6)插設(shè)在固定板(8)底部限位槽(22)中，連接桿(4)穿過固定板(8)；然后在連接桿(4)上端擰緊螺母(19)，以使固定板(8)通過連接桿(4)限位在螺母(19)和支撐環(huán)(18)之間；啟動電機(jī)(2)并停止加熱，以通過安裝座(27)帶動ITO靶管(13)、背管(5)、固定板(8)旋轉(zhuǎn)，直至間隙(7)內(nèi)充滿液態(tài)銦；待銦降溫凝固后，進(jìn)行下一節(jié)ITO靶管(13)的綁定，以由下往上對單節(jié)ITO靶管(13)進(jìn)行逐步綁定；

所述安裝座(27)下方固定有支撐座(3)和連接座(26)，所述連接座(26)固定在所述支撐座(3)和所述安裝座(27)之間，所述連接座(26)為圓柱狀且中心軸與所述背管(5)中心軸相同，所述連接座(26)圓周表面為齒面(25)，所述連接座(26)一側(cè)設(shè)置有齒輪(24)，所述齒輪(24)與所述齒面(25)嚙合設(shè)置，所述電機(jī)(2)輸出軸上固定有轉(zhuǎn)動軸(23)，所述轉(zhuǎn)動軸(23)軸向方向與所述背管(5)軸向方向一致，以使所述電機(jī)(2)啟動時，所述齒輪(24)帶動所述連接座(26)繞其中心軸轉(zhuǎn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離心綁定ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其特征在于：下一節(jié)ITO靶管(13)的綁定過程如下：

將所述固定板(8)和所述限位塊(9)拆下，并將所述壓環(huán)(12)取出，然后依次套上密封圈(10)和待綁定的ITO靶管(13)，以使密封圈(10)抵緊在綁定好ITO靶管(13)和待綁定ITO靶管(13)之間；然后重復(fù)步驟S3，對待綁定ITO靶管(13)進(jìn)行灌銦綁定。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種離心綁定ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其特征在于：所述密封圈(10)為純銅密封圈且厚度為0.35-0.4mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離心綁定ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其特征在于：所述ITO靶管(13)內(nèi)壁金屬化處理過程如下：

在所述ITO靶管(13)外表面及兩側(cè)端面貼透明耐高溫膠帶，然后放入管式加熱爐加熱，爐溫度設(shè)定160-170℃；銦加熱到165-175℃變成液體后，涂布在ITO靶管(13)內(nèi)壁，以使ITO靶管(13)內(nèi)壁形成一厚度為0.1-0.2mm的銦層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離心綁定ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其特征在于：所述背管(5)外表面金屬化處理過程如下：

在所述背管(5)內(nèi)插設(shè)加熱管，然后水平放置于操作臺上，將所述背管(5)端部用耐高溫膠帶密封，然后將背管(5)加熱至160-170℃；銦加熱到165-175℃變成液體后，涂布在所述背管(5)外表面，以使所述背管(5)外表面形成一厚度為0.1-0.2mm的銦層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離心綁定ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其特征在于：所述間隙(7)寬度為1.0-1.2mm。