[發明專利]一種光學薄膜測試方法及測試設備

有效

• 申請號: 202011598100.0
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112782129B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 呂張勇;曾慶坤;李廣杰;李永高;邱小兵;周凱斌;屈浩田;李昌席;蔣峰
• 申請（專利權）人: 蘇州創鑫激光科技有限公司;深圳市創鑫激光股份有限公司
• 主分類號: G01N21/59
• 分類號: G01N21/59
• 代理公司: 深圳市程炎知識產權代理事務所(普通合伙) 44676
• 代理人: 蔡樂慶

本發明涉及激光器技術領域，公開一種光學薄膜測試方法及測試設備，其中，光學薄膜測試方法包括：獲取待測物料的激光透過率，待測物料鍍有用于透射激光的光學薄膜，激光由激光器按照指定激光參數產生的；確定激光作用于光學薄膜時的靶面溫度；根據激光透過率與靶面溫度，測試光學薄膜的合格性。因此，本方法能夠自動化地利用激光透過率與靶面溫度，測量光學薄膜的合格性，盡量減少人為因素的參與，有利于提高測量結果的準確性，并且節省測量時間。

技術領域

本發明涉及激光器技術領域，具體涉及一種光學薄膜測試方法及測試設備。

背景技術

為了提高激光器的輸出能量和輸出特性，消除激光器內雜散光對激光器內部光學元件的影響，光學薄膜被廣泛應用于各種激光器之中。其中，光學薄膜的損傷閾值是限制激光器的輸出強度和衡量激光系統安全運行的重要因素。

在光學薄膜的實際損傷測量中，各家公司或科研機構往往根據自身實際需要，采用不同的光斑大小和不同的激光波長，結合不同的損傷判斷方法進行測量。現有測量方式全程需要人工的參與，自動化程度比較低，測量結果不夠準確。

發明內容

本發明實施例的一個目的旨在提供一種光學薄膜測試方法及測試設備，其能夠提高測量結果的準確性。

在第一方面，一種光學薄膜測試方法，包括：

獲取待測物料的激光透過率，所述待測物料鍍有用于透射激光的光學薄膜，所述激光由激光器按照指定激光參數產生的；

確定所述激光作用于所述光學薄膜時的靶面溫度；

根據所述激光透過率與靶面溫度，測試所述光學薄膜的合格性。

可選地，所述獲取待測物料的激光透過率包括：

確定空測激光功率及實測激光功率；

計算所述實測激光功率與所述空測激光功率的比值，得到所述待測物料的激光透過率。

可選地，所述光學薄膜鍍在所述待測物料的表面，激光功率由功率測量器采集得到，所述指定激光參數包括指定激光功率，所述確定空測激光功率包括：

當所述待測物料未放置在載物臺時，控制所述激光器按照所述指定激光功率產生激光，所述激光直接射向所述功率測量器；

獲取所述功率測量器采集的第一實時激光功率，所述第一實時激光功率為所述空測激光功率。

可選地，所述確定實測激光功率包括：

當所述待測物料放置在所述載物臺時，控制所述激光器按照所述指定激光功率產生激光，所述激光射入所述光學薄膜后，透過所述待測物料射向所述功率測量器；

獲取所述功率測量器采集的第二實時激光功率，所述第二實時激光功率為所述實測激光功率。

可選地，所述控制所述激光器按照所述指定激光功率產生激光包括：

按照預設功率增量，逐級提高所述激光的當前激光功率至所述指定激光功率，使得所述激光器按照所述指定激光功率產生激光。

可選地，所述待測物料為待測鍍膜光纖，激光功率由功率測量器采集得到，所述確定空測激光功率包括：

按照當前驅動電流，驅動所述激光器產生激光，所述激光注入標準鍍膜光纖后射向所述功率測量器；

獲取所述功率測量器采集的第三實時激光功率；

判斷所述第三實時激光功率是否大于功率穩定閾值；

若是，記錄所述第三實時激光功率對應的目標驅動電流，并將所述第三實時激光功率作為所述空測激光功率。

可選地，所述確定空測激光功率還包括：