[發明專利]一種電源芯片制造用晶圓晶粒針刺檢測裝置及制造工藝

在審

• 申請號: 202011596879.2
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112992749A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 李凱;夏建永
• 申請（專利權）人: 宋樂
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/687;H01L21/66;G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電源芯片制造用晶圓晶粒針刺檢測裝置，包括操作臺(1)，其特征在于：所述操作臺(1)的頂部固定連接有固定盤(2)，所述操作臺(1)的底部固定連接有四個支柱(3)，四個所述支柱(3)的一側均固定連接有支撐連接桿(4)，四個所述支撐連接桿(4)的頂部固定連接有同一個固定底盤(5)，所述固定底盤(5)的頂部固定連接有驅動電機(6)，所述驅動電機(6)的輸出端固定連接有聯軸器，所述聯軸器的一端固定連接有旋轉軸(10)，所述固定盤(2)的頂部開設有定位槽(7)，所述操作臺(1)的頂部開設有轉孔(8)，所述旋轉軸(10)的一端延伸至所述轉孔(8)的外側，所述驅動電機(6)的一側固定連接有電機控制器(9)，所述旋轉軸(10)的頂端固定連接有載物盤(11)，所述載物盤(11)的頂部固定連接有兩個垂直固定塊(12)，其中一個所述垂直固定塊(12)的一側固定連接有固定桿(13)，另一個所述垂直固定塊(12)的一側開設有滑孔，所述滑孔內滑動套接有定位栓(14)，所述定位栓(14)的兩端分別貫穿所述滑動，且延伸至所述垂直固定塊(12)的外側。

2.根據權利要求1所述的一種電源芯片制造用晶圓晶粒針刺檢測裝置，其特征在于：所述定位栓(14)的一端固定連接有拉盤(15)，所述定位栓(14)與所述固定桿(13)相互靠近的一端均固定連接有U型夾具(16)，所述定位栓(14)的一側固定連接有夾緊彈簧(17)，所述夾緊彈簧(17)的兩端分別與所述拉盤(15)和其中一個所述垂直固定塊(12)相連接，兩個所述U型夾具(16)相互靠近的一側設有同一個待檢測晶圓(18)，所述待檢測晶圓(18)的頂部固定連接有多個分布均勻的晶粒(19)，所述操作臺(1)的頂部固定連接有氣泵(20)。

3.根據權利要求2所述的一種電源芯片制造用晶圓晶粒針刺檢測裝置，其特征在于：所述氣泵(20)的一側固定連接有兩個啟停控制器(50)，所述固定盤(2)的頂部固定連接有兩個固定底座(21)，兩個所述固定底座(21)的位置均與所述定位槽(7)的位置相對應，兩個所述固定底座(21)的的一側均固定套接有檢測臂(22)，兩個所述檢測臂(22)的底端均延伸至所述定位槽(7)內，且均與所述定位槽(7)的底部內壁相連接，兩個所述檢測臂(22)的一端均固定連接有氣動滑動桿(23)。

4.根據權利要求3所述的一種電源芯片制造用晶圓晶粒針刺檢測裝置，其特征在于：兩個所述氣動滑動桿(23)的一端均固定連接有檢測針頭(24)，兩個所述檢測針頭(24)分別與兩個檢測臂(22)之間電性連接，兩個所述檢測針頭(24)的位置均與多個所述晶粒(19)的位置相對應，兩個所述檢測臂(22)的一側均固定連接有驅動管(25)，兩個所述驅動管(25)的一端均延伸至所述氣泵(20)內，兩個所述檢測針頭(24)的一側均固定套接有連接盤(26)。

5.根據權利要求4所述的一種電源芯片制造用晶圓晶粒針刺檢測裝置，其特征在于：兩個所述連接盤(26)的底部均固定連接有兩個連接柱(27)，四個所述連接柱(27)的底端均固定連接有攝像頭(28)，兩個所述氣動滑動桿(23)的一側均固定套接有束線套(29)，兩個所述束線套(29)的一側均開設有束線孔(30)，所述操作臺(1)的頂部固定連接有位置處理器(31)和兩個小立柱(32)，兩個所述小立柱(32)的位置均勻所述位置處理器(31)的位置相對應。

6.根據權利要求5所述的一種電源芯片制造用晶圓晶粒針刺檢測裝置，其特征在于：兩個所述小立柱(32)的一側均開設有通孔，所述位置處理器(31)的頂部固定連接有兩個位置傳導線(33)，兩個所述位置傳導線(33)的一端均延伸至所述通孔外側，且分別與兩個所述連接盤(26)相連接，所述位置處理器(31)的一側固定連接有驅動傳導線(34)，所述驅動傳導線(34)的一端與所述電機控制器(9)相連接。