[發(fā)明專利]一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011589985.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112575315A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王會(huì)會(huì);林保璋;金補(bǔ)哲;田才忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458;C23C16/52;G01C9/00
• 代理公司: 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31292
• 代理人: 俞晨波

1.一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，包括基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述基座水平調(diào)節(jié)裝置由水平儀本體(1)、空心金屬球(2)、電機(jī)固定桿(3)、水平調(diào)節(jié)螺絲一(4)、水平調(diào)節(jié)螺絲二(5)、頂緊螺絲一(6)和頂緊螺絲二(12)組成，所述水平儀本體(1)中部開(kāi)設(shè)有安裝口(7)且外側(cè)開(kāi)設(shè)有兩組螺紋導(dǎo)向槽(8)，所述安裝口(7)與兩組螺紋導(dǎo)向槽(8)相連通，所述空心金屬球(2)活動(dòng)設(shè)置于安裝口(7)內(nèi)，所述空心金屬球(2)的中部垂直安裝有對(duì)接槽口(9)，所述電機(jī)固定桿(3)的尾部固定于對(duì)接槽口(9)內(nèi)，所述水平調(diào)節(jié)螺絲一(4)和水平調(diào)節(jié)螺絲二(5)分別螺紋穿插于螺紋導(dǎo)向槽(8)內(nèi)且內(nèi)端與空心金屬球(2)相接觸，所述頂緊螺絲一(6)分設(shè)有兩組且螺紋固定于水平調(diào)節(jié)螺絲一(4)、水平調(diào)節(jié)螺絲二(5)上，所述頂緊螺絲二(12)螺紋固定于頂緊螺絲一(6)的外側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述水平儀本體(1)呈十字狀結(jié)構(gòu)且形成有兩組短板(10)和兩組長(zhǎng)板(11)，兩組所述長(zhǎng)板(11)呈90度設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：兩組所述螺紋導(dǎo)向槽(8)分別開(kāi)設(shè)于兩組長(zhǎng)板(11)內(nèi)，所述螺紋導(dǎo)向槽(8)的深度小于水平調(diào)節(jié)螺絲一(4)、水平調(diào)節(jié)螺絲二(5)的長(zhǎng)度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述空心金屬球(2)的底部呈實(shí)體球面結(jié)構(gòu)且上表面對(duì)接槽口(9)的開(kāi)口處呈水平狀設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述安裝口(7)的內(nèi)壁呈球面結(jié)構(gòu)且與空心金屬球(2)的表面相吻合。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述對(duì)接槽口(9)的內(nèi)部呈弧面結(jié)構(gòu)且規(guī)格與電機(jī)固定桿(3)的尾部規(guī)格相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述頂緊螺絲一(6)和頂緊螺絲二(12)均呈六面體螺絲帽結(jié)構(gòu)且內(nèi)表面采用磁性材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于外延膜生長(zhǎng)設(shè)備的基座水平調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述水平調(diào)節(jié)螺絲一(4)外端加工成型有環(huán)形卡槽(13)，所述環(huán)形卡槽(13)內(nèi)固定有限位環(huán)(14)，所述限位環(huán)(14)的外圍呈放射狀均勻固定有若干組限位彈片(15)，所述限位彈片(15)的內(nèi)端與頂緊螺絲二(12)相抵觸，所述水平調(diào)節(jié)螺絲二(5)與水平調(diào)節(jié)螺絲一(4)結(jié)構(gòu)相同。