[發明專利]一種防止芯片關鍵參數偏移的方法及裝置

在審

• 申請號: 202011589840.8
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112611958A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 虞君新
• 申請（專利權）人: 無錫圓方半導體測試有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種防止芯片關鍵參數偏移的方法，其特征在于，該方法包括：

記錄關鍵參數值：晶圓上機正常測試前，將測試機連接轉換切換器，將轉換切換器分別連接探針臺和測試Socket座，然后將樣片放置在所述測試Socket座上，點擊測試機開始測試界面測試樣片的關鍵參數值并將其存入存儲裝置；

自動關鍵參數防偏移：芯片測試前，用戶根據產品需求設定檢測頻率，測試機自動切換轉換切換器連接探針臺，當累計測試芯片達到所設定的檢測頻率后，測試機自動切換轉換切換器連接測試Socket座；計算單元調取存儲裝置存儲的關鍵參數值，計算偏移量，若偏移量在設定合格范圍內，則測試機自動切換轉換切換器連接探針臺，繼續正常測試，若偏移量超出設定合格范圍，則自動停止測試。

2.根據權利要求1所述的防止芯片關鍵參數偏移的方法，其特征在于，所述記錄關鍵參數值還包括：將關鍵參數值導入數據庫中，抓取關鍵測試項目，對每個測試項目數值設定允許波動范圍。

3.根據權利要求1或2任一項所述的防止芯片關鍵參數偏移的方法，其特征在于，所述用戶根據產品需求設定檢測頻率中設定檢測頻率為但不限于1000EA。

4.一種采用權利要求1至3之一所述防止芯片關鍵參數偏移的方法的防止芯片關鍵參數偏移的裝置，其特征在于，該裝置包括：測試機、轉換切換器、測試Socket座、探針臺、存儲裝置、計數器裝置以及計算單元；所述轉換切換器的一端連接測試機，另一端連接探針臺；所述測試機連接存儲裝置；所述存儲裝置連接計數器裝置的一端；所述計數器裝置的另一端連接計算單元；所述測試Socket座與轉換切換器連接，所述測試Socket座上放置樣片。