[發明專利]一種碳化硅半導體生產用的單晶爐

在審

• 申請號: 202011589143.2
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112795988A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 魯煜;王祎;劉玉良;姜經理;譚大勝
• 申請（專利權）人: 浙江中電環境科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/36
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王家蕾

本發明公開了一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，包括保溫密封倉主體、電機和密封蓋，所述保溫密封倉主體底部的兩側皆安裝有支撐腳，且保溫密封倉主體一側的底部連通有進出氣管，所述進出氣管的外側安裝有閥門。該碳化硅半導體生產用的單晶爐，通過兩組活動板分別與正反絲桿的螺紋連接，與裝置倉的滑動連接，以及密封蓋上設置有第三彈簧和環形密封墊，使得操作人員轉動正反絲桿時可以帶動兩組活動板分別帶動其上的擠壓限位件與對應的限位槽相互擠壓，從而對密封蓋和保溫密封倉主體進行限位固定的同時使得第三彈簧和環形密封墊被擠壓，進而可以方便快捷的完成密封操作，且可以保證該裝置在工作時的穩定性。

技術領域

本發明涉及單晶爐技術領域，具體為一種碳化硅半導體生產用的單晶爐。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，在多個領域都獲得廣泛運用，例如集成電路，通信系統等，半導體在生產過程中單晶爐是關鍵設備之一，其主要作用是用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化；

對比專利號CN211814712U的一種半導體生產單晶爐，其通過設置了保溫內筒、保溫罩、石墨加熱器、導熱板、加熱板和石墨坩堝，解決了現有的單晶爐保溫性能不夠完善，使用起來不夠方便的問題，以及通過設置了導流筒、石墨保護托、支撐固定座和旋轉支撐托桿，對石墨坩堝有一個防護和托起作用，但是依舊存在一定的問題，具體問題如下所述；

1、該半導體生產單晶爐，其上連接蓋是通過螺桿和法蘭相互配合的傳統方式進行密封，在實際使用過程中，需要轉動多組螺桿才能實施密封操作，過程較為繁瑣；

2、該半導體生產單晶爐，其提供旋轉力的電機直接與設備固定連接在一起，在實際使用過程中，電機在轉動時會產生震動，并將大部分震動傳遞給整個設備，進而導致設備在運行時震動幅度較大容易對其內部工作產生不良影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，以解決上述背景技術中提出的半導體生產單晶爐上連接蓋密封時操作較為繁瑣，以及設備運行時會產生較大幅度的震動的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，包括保溫密封倉主體、電機和密封蓋，所述保溫密封倉主體底部的兩側皆安裝有支撐腳，且保溫密封倉主體一側的底部連通有進出氣管，所述進出氣管的外側安裝有閥門，所述保溫密封倉主體兩側的頂部皆開設有限位槽，所述保溫密封倉主體內部底部的中間位置處貫穿有支撐軸，所述支撐腳與支撐軸之間的保溫密封倉主體上皆固定有安裝筒，所述安裝筒的內部貫穿有活動桿，且活動桿與安裝筒之間連接有第一彈簧，所述活動桿的底端安裝有安裝板，且安裝板頂部的中間位置處安裝有電機，所述電機的輸出端連接有傳動軸，且傳動軸延伸至支撐軸的內部，所述傳動軸與支撐軸之間連接有第二彈簧，所述保溫密封倉主體頂部的邊緣處開設有密封槽，且密封槽的內部設置有環形密封墊，所述環形密封墊的頂部均勻安裝有第三彈簧，且第三彈簧的頂端安裝有密封蓋，所述密封蓋的頂部安裝有裝置倉，且正反絲桿內部的一側貫穿有正反絲桿，所述正反絲桿靠近兩端的外側皆套設有活動板，且活動板貫穿裝置倉，所述活動板靠近保溫密封倉主體一側的底部固定有擠壓限位件，且擠壓限位件延伸至限位槽的內部。

優選的，所述保溫密封倉主體遠離進出氣管一側的底部安裝有顯示操作機構，所述顯示操作機構靠近保溫密封倉主體的一側固定有溫度檢測機構端頭，且溫度檢測機構端頭延伸至保溫密封倉主體的內部。

優選的，所述保溫密封倉主體的內壁安裝有導熱倉，且導熱倉的內部固定有石墨加熱機構。

優選的，所述支撐軸的頂端安裝有支撐筒，且支撐筒的內部設置有原料坩堝。

優選的，所述傳動軸的橫截面形狀為方形，且傳動軸與支撐軸之間組成相對滑動結構。

優選的，所述活動板與正反絲桿為螺紋連接，且活動板與裝置倉組成相對滑動結構。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：