[發明專利]一種碳化硅半導體生產用的單晶爐

在審

• 申請號: 202011589143.2
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112795988A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 魯煜;王祎;劉玉良;姜經理;譚大勝
• 申請（專利權）人: 浙江中電環境科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/36
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王家蕾

1.一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，包括保溫密封倉主體(1)、電機(17)和密封蓋(23)，其特征在于：所述保溫密封倉主體(1)底部的兩側皆安裝有支撐腳(2)，且保溫密封倉主體(1)一側的底部連通有進出氣管(3)，所述進出氣管(3)的外側安裝有閥門(4)，所述保溫密封倉主體(1)兩側的頂部皆開設有限位槽(9)，所述保溫密封倉主體(1)內部底部的中間位置處貫穿有支撐軸(10)，所述支撐腳(2)與支撐軸(10)之間的保溫密封倉主體(1)上皆固定有安裝筒(13)，所述安裝筒(13)的內部貫穿有活動桿(14)，且活動桿(14)與安裝筒(13)之間連接有第一彈簧(15)，所述活動桿(14)的底端安裝有安裝板(16)，且安裝板(16)頂部的中間位置處安裝有電機(17)，所述電機(17)的輸出端連接有傳動軸(18)，且傳動軸(18)延伸至支撐軸(10)的內部，所述傳動軸(18)與支撐軸(10)之間連接有第二彈簧(19)，所述保溫密封倉主體(1)頂部的邊緣處開設有密封槽(20)，且密封槽(20)的內部設置有環形密封墊(21)，所述環形密封墊(21)的頂部均勻安裝有第三彈簧(22)，且第三彈簧(22)的頂端安裝有密封蓋(23)，所述密封蓋(23)的頂部安裝有裝置倉(24)，且正反絲桿(25)內部的一側貫穿有正反絲桿(25)，所述正反絲桿(25)靠近兩端的外側皆套設有活動板(26)，且活動板(26)貫穿裝置倉(24)，所述活動板(26)靠近保溫密封倉主體(1)一側的底部固定有擠壓限位件(27)，且擠壓限位件(27)延伸至限位槽(9)的內部；

所述保溫密封倉主體(1)遠離進出氣管(3)一側的底部安裝有顯示操作機構(5)，所述顯示操作機構(5)靠近保溫密封倉主體(1)的一側固定有溫度檢測機構端頭(6)，且溫度檢測機構端頭(6)延伸至保溫密封倉主體(1)的內部。

2.根據權利要求1所述的一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，其特征在于：所述保溫密封倉主體(1)的內壁安裝有導熱倉(7)，且導熱倉(7)的內部固定有石墨加熱機構(8)。

3.根據權利要求1所述的一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，其特征在于：所述支撐軸(10)的頂端安裝有支撐筒(11)，且支撐筒(11)的內部設置有原料坩堝(12)。

4.根據權利要求1所述的一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，其特征在于：所述傳動軸(18)的橫截面形狀為方形，且傳動軸(18)與支撐軸(10)之間組成相對滑動結構。

5.根據權利要求1所述的一種碳化硅半導體生產用的單晶爐，其特征在于：所述活動板(26)與正反絲桿(25)為螺紋連接，且活動板(26)與裝置倉(24)組成相對滑動結構。