[發(fā)明專利]一種氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011587330.7
• 申請(qǐng)日: 2020-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN112843918A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魯煜;王祎;劉玉良;姜經(jīng)理;譚大勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江中電環(huán)境科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D46/12
• 分類號(hào): B01D46/12;B01D46/00
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王家蕾

本發(fā)明公開了一種氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房，包括廠房主體、凈化空調(diào)系統(tǒng)、更衣室、凈化箱、毛刷和第二過濾網(wǎng)，所述廠房主體內(nèi)部的底端安裝有凈化空調(diào)系統(tǒng)，所述廠房主體一端的側(cè)壁安裝有更衣室，所述更衣室的頂端安裝有底座，且底座的頂端安裝有凈化箱，所述凈化箱的一端側(cè)壁安裝有進(jìn)氣管，且進(jìn)氣管遠(yuǎn)離凈化箱的一端與更衣室的頂端相連接，所述凈化箱遠(yuǎn)離進(jìn)氣管的一端側(cè)壁安裝有排氣管，且排氣管遠(yuǎn)離進(jìn)氣管的一端與更衣室的頂端相連接。該氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房，通過擠壓鉸接桿進(jìn)行往復(fù)左右移動(dòng)，從而使擠壓板可以帶動(dòng)保護(hù)墊來對(duì)第二過濾網(wǎng)進(jìn)行擠壓固定，從而便于操作人員對(duì)第二過濾網(wǎng)進(jìn)行安裝和拆卸。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房。

背景技術(shù)

隨著社會(huì)的發(fā)展，科學(xué)的進(jìn)步，氮化鎵是氮和鎵的化合物，氮化鎵半導(dǎo)體多數(shù)運(yùn)于發(fā)光二極管中，此化合物結(jié)構(gòu)類似纖鋅礦，硬度很高，氮化鎵的能隙很寬，為3.4電子伏特，可以用在高功率、高速的光電元件中，例如氮化鎵可以用在紫光的激光二極管，可以在不使用非線性半導(dǎo)體泵浦固體激光器的條件下，產(chǎn)生紫光激光，在對(duì)氮化鎵半導(dǎo)體進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)，需要在潔凈廠房?jī)?nèi)部進(jìn)行生產(chǎn)；

對(duì)比該CN210713990U一種潔凈廠房，通過廠房?jī)?nèi)設(shè)置邊跨潔凈室，邊跨潔凈室與核心潔凈室既可以共用介于兩者之間的回風(fēng)夾道，即核心潔凈室回風(fēng)夾道，也可以在邊跨潔凈室遠(yuǎn)離核心潔凈室的一側(cè)與廠房本體的墻體之間設(shè)置用于連通邊跨潔凈室上夾層與邊跨潔凈室下夾層的邊跨潔凈室回風(fēng)夾道，用于邊跨潔凈室的單獨(dú)回風(fēng)，或者，還可以結(jié)合上述兩種方案實(shí)現(xiàn)雙側(cè)回風(fēng)；邊跨潔凈室所形成的潔凈區(qū)域擴(kuò)大了廠房?jī)?nèi)潔凈區(qū)的總面積，但是依舊存在一定的問題，具體問題如下所述：

1、該氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房，容易造成操作人員在進(jìn)入潔凈廠房?jī)?nèi)部時(shí)，粉塵和雜質(zhì)也同時(shí)進(jìn)入潔凈廠房?jī)?nèi)部，從而影響潔凈廠房?jī)?nèi)氮化鎵半導(dǎo)體的生產(chǎn)效果；

2、該氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房，在長(zhǎng)時(shí)間的使用時(shí)，需要對(duì)過濾網(wǎng)進(jìn)行更換和維修，使操作人員在對(duì)過濾網(wǎng)進(jìn)行更換和維修時(shí)，帶來不便。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房，以解決上述背景技術(shù)中提出的容易造成操作人員在進(jìn)入潔凈廠房?jī)?nèi)部時(shí)，粉塵和雜質(zhì)也同時(shí)進(jìn)入潔凈廠房?jī)?nèi)部與在長(zhǎng)時(shí)間的使用時(shí)，需要對(duì)過濾網(wǎng)進(jìn)行更換和維修的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種氮化鎵半導(dǎo)體生產(chǎn)用的潔凈廠房，包括廠房主體、凈化空調(diào)系統(tǒng)、更衣室、凈化箱、毛刷和第二過濾網(wǎng)，所述廠房主體內(nèi)部的底端安裝有凈化空調(diào)系統(tǒng)，所述廠房主體一端的側(cè)壁安裝有更衣室，所述更衣室的頂端安裝有底座，且底座的頂端安裝有凈化箱，所述凈化箱的一端側(cè)壁安裝有進(jìn)氣管，且進(jìn)氣管遠(yuǎn)離凈化箱的一端與更衣室的頂端相連接，所述凈化箱遠(yuǎn)離進(jìn)氣管的一端側(cè)壁安裝有排氣管，且排氣管遠(yuǎn)離進(jìn)氣管的一端與更衣室的頂端相連接，所述排氣管內(nèi)部的頂端安裝有第一過濾網(wǎng)，所述排氣管內(nèi)部的頂端安裝有第二進(jìn)氣扇，且第二進(jìn)氣扇位于第一過濾網(wǎng)的下方，所述進(jìn)氣管內(nèi)部遠(yuǎn)離凈化箱的一端安裝有第一進(jìn)氣扇，所述凈化箱內(nèi)部的四角處皆安裝有固定塊，所述凈化箱內(nèi)部的頂端和底端皆安裝有固定板，且固定板一端的側(cè)壁皆開設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)部一端的側(cè)壁安裝有滑軌，且滑軌的內(nèi)部設(shè)置有滑塊，所述滑塊的頂端安裝有彈簧，且彈簧的頂端與凹槽內(nèi)部的頂端相連接。

優(yōu)選的，所述廠房主體和更衣室相互靠近的一端開設(shè)有過道，且過道的內(nèi)部安裝有開關(guān)門。

優(yōu)選的，所述更衣室一側(cè)的側(cè)壁開設(shè)有門框，且門框一端的側(cè)壁鉸接有門板，所述門板一側(cè)的側(cè)壁安裝有密封塊，所述門框一側(cè)的側(cè)壁開設(shè)有密封槽，且密封槽與密封塊相互卡和。

優(yōu)選的，所述凈化箱一側(cè)的側(cè)壁鉸接有鉸接門，且鉸接門一側(cè)的側(cè)壁安裝有把手。

優(yōu)選的，所述第二進(jìn)氣扇的內(nèi)部設(shè)置有貫穿第一過濾網(wǎng)的轉(zhuǎn)桿，且轉(zhuǎn)桿的頂端安裝有套筒，所述套筒的外壁等間距安裝有刮板，且刮板的底端安裝有毛刷，所述毛刷的底端與第一過濾網(wǎng)的頂端相貼合。