[發明專利]超滑片轉移方法以及超滑片轉移控制系統

有效

• 申請號: 202011582171.1
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN112629507B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 鄭泉水;胡恒謙;楊德智;白玉蝶
• 申請（專利權）人: 深圳清華大學研究院;清華大學
• 主分類號: G01C15/00
• 分類號: G01C15/00
• 代理公司: 深圳市惠邦知識產權代理事務所 44271
• 代理人: 滿群

1.一種超滑片轉移方法，其特征在于，包括如下步驟：

移動超滑片至目標基底上方，并朝向所述目標基底的目標區域向下移動所述超滑片；

監測所述超滑片的表面亮度；

所述亮度開始變化則繼續下移所述超滑片,在所述超滑片下移至所述目標基底上時，所述超滑片的一側先接觸所述目標基底，另一側逐漸下移并置于所述目標基底上；

在移動并放平所述超滑片時，所述超滑片的亮度逐漸增大，所述超滑片的亮度停止變化，則停止下移所述超滑片。

2.如權利要求1所述的超滑片轉移方法，其特征在于，所述超滑片的亮度最亮且停止變化時，所述超滑片平放至所述目標基底上。

3.如權利要求1所述的超滑片轉移方法，其特征在于：在所述目標基底的上方設置縱向顯微鏡，所述目標基底位于所述縱向顯微鏡的視野內。

4.如權利要求3所述的超滑片轉移方法，其特征在于：在移動所述超滑片前還包括如下步驟：

將所述目標基底移動至所述縱向顯微鏡下，檢測所述目標基底是否置于所述縱向顯微鏡的視野范圍內，并測量所述目標基底和所述縱向顯微鏡之間的間距是否到達閾值。

5.如權利要求1至4任一項所述的超滑片轉移方法，其特征在于：在所述目標基底的上方設置用于檢測所述超滑片對所述目標基底的壓力的壓力傳感器。

6.一種超滑片轉移控制系統，其特征在于：包括用于移動所述超滑片的轉移單元，設于目標基底上方監測所述超滑片的亮度變化的監測單元，以及連接所述轉移單元和所述監測單元的控制單元；所述控制單元控制所述超滑片的一側先接觸所述目標基底，另一側逐漸下移并置于所述目標基底上，所述監測單元監測所述超滑片的表面亮度逐漸增大，且所述超滑片的亮度停止變化時，所述控制單元控制所述轉移單元停止移動所述超滑片。

7.如權利要求6所述的超滑片轉移控制系統，其特征在于：所述監測單元包括縱向顯微鏡、成像單元和比對單元，所述成像單元通過所述縱向顯微鏡拍攝所述超滑片，所述比對單元對所述成像單元拍攝的圖片進行比對，并對所述目標基底的亮度變化進行判斷。

8.如權利要求7所述的超滑片轉移控制系統，其特征在于：還包括驅動所述目標基底移動的載臺移動單元。

9.如權利要求7所述的超滑片轉移控制系統，其特征在于：還包括用于檢測所述超滑片對所述目標基底的壓力的壓力檢測單元。