[發(fā)明專利]芯片檢測分選機及其檢測方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011581648.4
• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN112657855A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪杰;許洪祎
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫市寶御達機械設(shè)備制造有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/344;B07C5/38;B07C5/36
• 代理公司: 北京棘龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11740
• 代理人: 戴麗偉

本發(fā)明涉及一種芯片檢測分選機及其檢測方法，一種芯片檢測分選機包括基板；基板上設(shè)置取料機構(gòu)、入料機構(gòu)、測試機構(gòu)、預(yù)定位機構(gòu)、出料機構(gòu)和NG機構(gòu)；料盤從入料機構(gòu)進入，通過取料機構(gòu)取出放置于預(yù)定位機構(gòu)中，再由測試機構(gòu)取入檢測，再由測試機構(gòu)取出至預(yù)定位機構(gòu)中，再由取料機構(gòu)取出，分別放入出料機構(gòu)和NG機構(gòu)中，完成循環(huán)。本發(fā)明合理提高分選機的處理量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片檢測裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種芯片檢測分選機及其檢測方法。

背景技術(shù)

當(dāng)網(wǎng)絡(luò)、電子通訊及各種電子消費品占據(jù)人們生活的各個角落時，奠定這一切基礎(chǔ)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)毋庸置疑地成為國家科技發(fā)展中的重中之重。這些微電子行業(yè)大量使用的半導(dǎo)體器件制造完成后，需要對其進行檢測、分選。

目前，國內(nèi)已有的測試分選機功能比較單一，一些機器只能實現(xiàn)檢測或者包裝，而且運行速度比較慢。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明公開了一種芯片檢測分選機及其檢測方法。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：

一種芯片檢測分選機，包括基板；所述基板上設(shè)置取料機構(gòu)、入料機構(gòu)、測試機構(gòu)和預(yù)定位機構(gòu)；

所述取料機構(gòu)包括第一電缸；所述第一電缸固定在第一模組安裝板上；所述第一模組安裝板的兩側(cè)分別設(shè)置在支撐柱上；所述第一電缸包括第一滾珠絲杠；所述第一滾珠絲杠的絲母連接吸嘴工裝；

所述入料機構(gòu)包括料盤夾爪機構(gòu)；所述料盤夾爪機構(gòu)包括料盤；所述取料吸嘴位于所述料盤之上；所述料盤的兩側(cè)設(shè)置夾爪；所述夾爪連接第四氣缸的活塞桿；所述料盤的底部抵接頂頭；所述頂頭連接第五氣缸的活塞桿；所述第四氣缸的缸體安裝在夾爪基板上；所述夾爪基板固定在絲母安裝塊上；所述絲母安裝塊和第三滾珠絲杠的絲母連接；所述第三滾珠絲杠的一端連接第一驅(qū)動模塊，所述第一驅(qū)動模塊驅(qū)動所述第三滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)；

所述測試機構(gòu)包括測試座；所述測試座包括芯片測試板；所述測試座上方設(shè)置可調(diào)光源燈箱；

所述預(yù)定位機構(gòu)包括定位板和第四電缸；所述定位板開設(shè)多個芯片定位槽；所述芯片測試板和所述定位板在同一水平面；所述定位板的底部安裝震動電機；所述定位板通過支承部件固定在滑板上；所述滑板固定在第一滑塊上；所述第四電缸包括第五滾珠絲杠；所述第五滾珠絲杠的絲母連接所述第一滑塊，且所述第三滾珠絲杠長度所在直線和所述第五滾珠絲杠的長度所在直線相互垂直。

其進一步的技術(shù)特征在于：所述吸嘴工裝包括第一升降機構(gòu)；第一升降機構(gòu)包括第一導(dǎo)軌安裝板；所述第一導(dǎo)軌安裝板的背面連接所述第一滾珠絲杠的絲母；所述第一導(dǎo)軌安裝板的正面安裝一組直線導(dǎo)軌；所述直線導(dǎo)軌嵌合滑塊；所述一組直線導(dǎo)軌)之間安裝直線模組；第一升降機構(gòu)還包括滑塊安裝板；所述滑塊安裝板固定在所述滑塊之上；所述直線模組和所述滑塊安裝板機械連接；所述滑塊安裝板之上固定吸嘴夾板；所述吸嘴夾板上安裝多個分體式吸嘴模塊；所述分體式吸嘴模塊包括相互連通的第一吸嘴、導(dǎo)向通氣軸和第一氣接頭；所述導(dǎo)向通氣軸的一端連接所述第一吸嘴，所述導(dǎo)向通氣軸的另一端連接第一氣接頭。

其進一步的技術(shù)特征在于：所述第一驅(qū)動模塊包括第二伺服電機、第二同步帶、第三同步帶輪和第四同步帶輪；所述第二伺服電機的輸出軸穿過所述第四同步帶輪，所述第二同步帶張緊在所述第三同步帶輪和所述述第四同步帶輪上；所述第三同步帶輪套在所述第三滾珠絲杠上。

其進一步的技術(shù)特征在于：所述入料機構(gòu)還包括入料導(dǎo)軌；所述入料導(dǎo)軌包括一組相互平行的第一導(dǎo)軌；所述第一導(dǎo)軌之上設(shè)置至少一組料盤限位組件；一組所述第一導(dǎo)軌之間設(shè)置至少一組第二升降機構(gòu)；所述第二升降機構(gòu)包括第二驅(qū)動模塊和第二滾珠絲杠；所述第二滾珠絲杠的絲母和絲母升降板連接；所述絲母升降板通過第一導(dǎo)向軸連接托盤板；一組所述托盤板之間設(shè)置所述料盤夾爪機構(gòu)；所述托盤板可托住所述料盤。