[發(fā)明專利]立式光伏電池鈍化沉積裝置

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• 申請日: 2020-12-28
• 公開（公告）號: CN112663030A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 陳慶敏;李丙科;孫志宇;張海洋;景程
• 申請（專利權）人: 無錫松煜科技有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/458;C23C16/455;H01L31/18
• 代理公司: 江蘇漫修律師事務所 32291
• 代理人: 熊啟奎;周曉東

1.一種立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：具有一個豎向設置的主機室，主機室內至少具有一個豎向設置的工藝腔室（1），工藝腔室（1）頂端通過上法蘭密封組（2）與腔室上蓋（3）緊密連接，底端與外部的氣體處理裝置連通，在工藝腔室（1）內配套使用多個石墨盤（7），每個石墨盤（7）上承載若干個硅片（14）后逐層疊放在工藝腔室（1）內。

2.根據權利要求1所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：在石墨盤（7）上表面開設有若干個載片槽（8），載片槽（8）由上部淺槽和淺槽下方的槽底開孔共同構成，載片槽（8）的上部淺槽的尺寸大于下部的槽底開孔尺寸，兩者的尺寸差形成一個臺階（9）。

3.根據權利要求2所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：在載片槽（8）的上方放置有壓板（10），壓板（10）中部開有與載片槽（8）的槽底開孔對應的上開孔，上開孔的尺寸和形狀與載片槽（8）的槽底開孔一致。

4.根據權利要求3所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：載片槽（8）的上部淺槽的深度等于或大于兩個硅片（14）的厚度，當上部淺槽的深度等于兩個硅片（14）的厚度時，壓板（10）的外周形狀大于上部淺槽的尺寸，覆蓋在上部淺槽上方；當上部淺槽的深度大于兩個硅片（14）的厚度時，壓板（10）的外周形狀與上部淺槽一致，容納并限位在上部淺槽內。

5.根據權利要求1所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：在石墨盤（7）上開設有用于串接電極桿的電極槽（11）。

6.根據權利要求5所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：多個石墨盤（7）豎向疊放時，石墨盤（7）交替錯位放置，相鄰的前后兩個石墨盤（7）的電極槽（11）錯位分布，而第N個石墨盤（7）和間隔一個石墨盤（7）的第N+（2）個石墨盤（7）在豎直方向上相互重疊，且兩者的電極槽（11）相對，分布在同一條直線上。

7.根據權利要求5所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：多個石墨盤（7）豎向疊放時，會形成不同位置上沿直線分布的兩組電極槽（11），其中一組電極槽（11）與上電極桿（12）對應，由上電極桿（12）串聯(lián)；另外一組電極槽（11）與下電極桿（13）對應，由下電極桿（13）串聯(lián)。

8.根據權利要求1所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：工藝腔室（1）的內壁為石英襯管，石英襯管的外周沿軸向套設保護套管，保護套管外部為加熱爐體（6）。

9.根據權利要求1所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：工藝腔室（1）底端通過下法蘭密封組（4）與腔室下蓋（5）緊密連接，氣體處理裝置通過氣管連通到工藝腔室（1）內，氣管連接在工藝腔室（1）的底端或兩端上，貫通到工藝腔室（1）的內部。

10.根據權利要求9所述的立式光伏電池鈍化沉積裝置，其特征在于：所述氣管由真空泵的一根管路引出兩路支氣管，分為第一路支氣管和第二路支氣管，第一路支氣管上設置對應的預抽閥，第二路支氣管上依次設置蝶閥、真空計和主抽閥，在通入工藝腔室（1）前由兩路支氣管合并為一根管路。