[發(fā)明專利]一種雙氧化組分鋁蝕刻液、其制備方法與應(yīng)用

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011573341.X
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN112795924A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 童晨;吳海燕;韓成強(qiáng);孫元;陳桂紅
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/20
• 分類號(hào): C23F1/20;H01L21/3213
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本發(fā)明提供一種雙氧化組分鋁蝕刻液、其制備方法與應(yīng)用。該雙氧化組分鋁蝕刻液包括第一氧化組分和第二氧化組分，其中，第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為1～2:3～5；第一氧化組分各組分及各組分含量為硝酸10～30wt％、醋酸鹽緩沖溶液10～20wt％以及去離子水；第二氧化組分各組分以及各組分含量為雙氧水10～30wt％、醋酸鹽緩沖溶液10～20wt％、磷酸20～50wt％、陽離子表面活性劑10～20wt％以及去離子水。本申請?zhí)峁┑囊环N雙氧化組分鋁蝕刻液，能夠快速蝕刻鋁基金屬，蝕刻速率約為并且添加的醋酸鹽緩沖溶液能夠控制蝕刻角度，蝕刻角度可控制在20～50°，可廣泛的用于鋁基半導(dǎo)體裝置中。同時(shí)所述雙氧化組分鋁蝕刻液的制備方法簡單易行、綠色環(huán)保是一種安全經(jīng)濟(jì)的制備工藝。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及一種雙氧化組分鋁蝕刻液，特別涉及一種雙氧化組分鋁蝕刻液、以及制備方法與其在鋁基半導(dǎo)體裝置中的應(yīng)用。

背景技術(shù)

鋁金屬因?yàn)榫哂械碗娮琛⒁子诔练e及蝕刻的優(yōu)點(diǎn)，成為半導(dǎo)體制成中最主要的導(dǎo)線材料，而且鋁的導(dǎo)電性僅次于銀和銅，居于第三位，可用于制造各種導(dǎo)線。

鋁蝕刻液為無色透明液體，略帶有酸性氣味，現(xiàn)有技術(shù)中主要由磷酸和硝酸組成的水溶液作為鋁蝕刻液，制備方法是將磷酸和硝酸按照一定比例攪拌均勻后蝕刻半導(dǎo)體基板、玻璃基板的表面形成配線、電極等。但是該方法制得的蝕刻液在蝕刻鋁金屬時(shí)蝕刻速度慢、往往還難以控制蝕刻角度和蝕刻量，影響產(chǎn)品的良率和蝕刻速率。

因此，如何提供一種刻速度快、控制蝕刻角度和蝕刻量制得較高性能的鋁基半導(dǎo)體裝置是一個(gè)亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種雙氧化組分鋁蝕刻液、其制備方法與應(yīng)用，以克服現(xiàn)有技術(shù)中蝕刻液在蝕刻鋁金屬時(shí)蝕刻速度慢、往往還難以控制蝕刻角度和蝕刻量，影響產(chǎn)品的良率和蝕刻速率的不足。

為實(shí)現(xiàn)前述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案包括：

所述一種雙氧化組分鋁蝕刻液，包括第一氧化組分和第二氧化組分，其中，第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為1～2:3～5；

第一氧化組分各組分及各組分含量為硝酸10～30wt％、醋酸鹽緩沖溶液10～20wt％以及去離子水；

第二氧化組分各組分以及各組分含量為雙氧水10～30wt％、醋酸鹽緩沖溶液10～20wt％、磷酸20～50wt％、陽離子表面活性劑10～20wt％以及去離子水。

可選地，所述第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為1:3。

可選地，所述第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為1:4。

可選地，所述第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為1:5。

可選地，所述第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為2:3。

可選地，所述第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為1:2。

可選地，所述第一氧化組分和第二氧化組分質(zhì)量比為2:5。

可選地，所述硝酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)上限選自15wt％、20wt％、25wt％、30wt％；所述硝酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)下限選自10wt％、15wt％、20wt％、25wt％。

可選地，所述第一氧化組分中醋酸鹽緩沖溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)上限選自12wt％、14wt％、16wt％、18wt％、20wt％；所述第一氧化組分中醋酸鹽緩沖溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)下限選自10wt％、12wt％、14wt％、16wt％、18wt％。

可選地，所述雙氧水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)上限選自12wt％、15wt％、20wt％、22wt％、25wt％、28wt％、30wt％；所述雙氧水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)下限選自10wt％、12wt％、15wt％、20wt％、22wt％、25wt％、28wt％。