[發明專利]紅外探測器模組的制造方法

有效

• 申請號: 202011563618.0
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN112670250B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 陳鋼;曾廣鋒;高濤
• 申請（專利權）人: 東莞先導先進科技有限公司
• 主分類號: H01L23/043
• 分類號: H01L23/043;H01L23/26;G01J5/04
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387
• 代理人: 張婷婷;張向琨

本發明提供了一種紅外探測器模組的制造方法，其包括步驟S1?S8。在本申請的制造方法中，其利用面沉積工藝在陶瓷基板上通過金屬層堆積方式形成金屬圍壩，并由此形成紅外探測器模組的外殼體，而這種工藝方法能夠根據需求直接控制外殼體的尺寸大小，從而使得形成的紅外探測器模組滿足小型化、輕型化、多樣化的需求。并且，由金屬圍壩和陶瓷基板構成的外殼體與傳統的陶瓷管殼結構相比，由于外殼體采用金屬和陶瓷制成、且制作工藝簡單，由此極大地降低了紅外探測器模組的成本。此外，采用本申請的制造方法形成的紅外探測器模組利用所述多個第四金屬層取代傳統的頂針輸出方式，由此極大地降低了紅外探測器模組在所述厚度方向上的尺寸。

技術領域

本發明涉及紅外探測器技術領域，尤其涉及一種紅外探測器模組的制造方法。

背景技術

目前，現有的紅外探測器模組的外殼體整體采用陶瓷材料制成并形成為陶瓷管殼結構，但是由于陶瓷管殼的價格昂貴、供貨資源稀缺，從而導致紅外探測器模組的成本增加；并且，由于陶瓷管殼的規格型號少、外形尺寸偏大偏高、輸出方式單一(頂針輸出)，從而不能滿足紅外探測器模組的小型化、輕型化、多樣化設計的需求。

發明內容

鑒于背景技術中存在的問題，本發明的目的在于提供一種紅外探測器模組的制造方法，其極大地降低了紅外探測器模組的成本，滿足紅外探測器模組的小型化、輕型化、多樣化的需求。

為了實現上述目的，本發明提供了一種紅外探測器模組的制造方法，其包括步驟S1-S8。S1，提供一陶瓷基板，所述陶瓷基板在厚度方向上具有第一表面和第二表面。S2，采用面沉積工藝對陶瓷基板的第一表面進行金屬化并形成第一金屬層、第二金屬層和多個第三金屬層，且第二金屬層環繞在第一金屬層外側、所述多個第三金屬層位于第二金屬層與第一金屬層之間。S3，采用面沉積工藝對陶瓷基板的第二表面進行金屬化并形成多個第四金屬層。S4，在陶瓷基板的第一金屬層、多個第三金屬層和多個第四金屬層上制作連接線路。S5，采用面沉積工藝在第二金屬層上進行金屬層堆積并形成突出于第一金屬層的金屬圍壩，所述金屬圍壩與陶瓷基板一起構成紅外探測器模組的外殼體。S6，提供一紅外芯片，并將紅外芯片固定在陶瓷基板的第一金屬層上，且利用導線將紅外芯片與所述多個第三金屬層電連接。S7，提供一吸氣劑，并將吸氣劑設置在外殼體中，且在真空環境下對吸氣劑進行激活。S8，提供一光學窗口和一第一連接件，并在高溫真空環境下將光學窗口通過第一連接件固定到外殼體的金屬圍壩上，以使光學窗口與外殼體圍成封閉的探測器腔體。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，在步驟S7中，吸氣劑通過高溫激活。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，在步驟S3中，采用面沉積工藝在陶瓷基板的第二表面上還形成有多個吸氣劑用金屬層。在步驟S7中，吸氣劑通過吸氣劑用金屬層進行通電激活。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，在步驟S3中，采用面沉積工藝在陶瓷基板的第二表面上還形成有多個散熱用金屬層，所述散熱用金屬層與所述多個第四金屬層間隔設置。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，所述面沉積工藝為蒸鍍、磁控濺射、電鍍或化學鍍中的至少一種。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，金屬圍壩在所述厚度方向上的高度為第一金屬層的厚度的10-60倍。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，紅外芯片通過第二連接件固定在陶瓷基板的第一金屬層上。優選地，第二連接件為導電膠或焊料片。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，吸氣劑設置在第一表面上、并位于第二金屬層與第一金屬層之間。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，吸氣劑為四個，所述四個吸氣劑間隔設置。

在根據一些實施例的紅外探測器模組的制造方法中，陶瓷基板的第二表面上的各第四金屬層為平面板狀結構。