[發(fā)明專(zhuān)利]一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011561695.2
• 申請(qǐng)日: 2020-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112557431A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文閣;賀賢漢;侯曉晨;張正偉;蔣立峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海富樂(lè)德智能科技發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/2251
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/2251
• 代理公司: 上海申浩律師事務(wù)所 31280
• 代理人: 陸葉

本發(fā)明涉及檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測(cè)方法，包括如下步驟：步驟一，雙面導(dǎo)電膠帶固定；將掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)上鋪設(shè)雙面導(dǎo)電膠帶；步驟二，樣品臺(tái)取樣；撕除雙面導(dǎo)電膠帶上的保護(hù)條，將待測(cè)的零部件表面區(qū)域粘附在樣品臺(tái)上的雙面導(dǎo)電膠上；步驟三，樣品臺(tái)密封保存；將樣品臺(tái)取下并放入潔凈的樣品臺(tái)管中并固定，將樣品臺(tái)管密封；步驟四，對(duì)異物區(qū)域進(jìn)行EDX圖譜采集；從樣品臺(tái)管中取下樣品臺(tái)并放入掃描電子顯微鏡的樣品艙中，利用掃描電子顯微鏡觀察雙面導(dǎo)電膠上粘附的異物，并用能譜儀對(duì)異物區(qū)域進(jìn)行EDX圖譜采集；步驟五：對(duì)EDX譜圖進(jìn)行元素定性和半定量分析，得到零部件表面物質(zhì)的元素組成。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體是污染物組分的檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體和顯示面板制造等精密制造過(guò)程中，關(guān)鍵制造設(shè)備(如光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜淀積設(shè)備)零部件會(huì)在長(zhǎng)時(shí)間使用過(guò)程中受到顆粒物污染，或與工藝材料(如特種氣體)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成表面污染層，需要對(duì)其進(jìn)行清洗再生后重新使用。對(duì)于零部件表面污染物物質(zhì)組分的檢測(cè)能幫助開(kāi)發(fā)針對(duì)性更強(qiáng)的清洗再生工藝，有效去除表面污染物，并減少對(duì)部件的損耗。而且，對(duì)零部件表面污染物組分的分析能為部件的失效分析提供重要的支撐數(shù)據(jù)，有利于尋找失效原因。

半導(dǎo)體制造設(shè)備的零部件的尺寸往往較大且形狀各異，通用的化學(xué)組分分析儀器(如掃描電子顯微鏡、X射線(xiàn)熒光光譜儀、原子發(fā)射直讀光譜儀)受制于其樣品艙的大小不能直接對(duì)部件污染區(qū)域進(jìn)行觀測(cè)和分析，往往需要對(duì)樣品進(jìn)行切割等破壞性的處理。手持式的X射線(xiàn)熒光光譜儀可以對(duì)零部件表面物質(zhì)進(jìn)行組分分析，但無(wú)法檢測(cè)B、C、N、O和F等輕質(zhì)元素，對(duì)污染物組分的檢測(cè)范圍存在局限性。

申請(qǐng)?zhí)枮椤?01610042487.9”的發(fā)明專(zhuān)利公布了一種快速檢測(cè)物體表面污染物的方法。該方法制備了一種由金、銀、或銅納米粒子和柔性聚合物組成的表面增強(qiáng)拉曼基底，將基底貼于被測(cè)物表面，隨后利用手持式的拉曼光譜儀對(duì)物體進(jìn)行檢測(cè)。該方法雖然可以對(duì)零部件進(jìn)行非破壞性的表面污染物測(cè)試，但其所檢測(cè)的污染物往往需要對(duì)拉曼光譜有足夠的響應(yīng)。由于拉曼光譜是一種分子光譜，所以該方法對(duì)沒(méi)有分子結(jié)構(gòu)的金屬污染物無(wú)法進(jìn)行檢測(cè)。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測(cè)方法，以解決以上至少一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測(cè)方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一，雙面導(dǎo)電膠帶固定；

將掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)上鋪設(shè)雙面導(dǎo)電膠帶；

步驟二，樣品臺(tái)取樣；

撕除雙面導(dǎo)電膠帶上的保護(hù)條，將待測(cè)的零部件表面區(qū)域粘附在樣品臺(tái)上的雙面導(dǎo)電膠上；

步驟三，樣品臺(tái)密封保存；

將樣品臺(tái)取下并放入潔凈的樣品臺(tái)管中并固定，將樣品臺(tái)管密封；

步驟四，對(duì)異物區(qū)域進(jìn)行EDX圖譜采集；

從樣品臺(tái)管中取下樣品臺(tái)并放入掃描電子顯微鏡的樣品艙中，利用掃描電子顯微鏡觀察雙面導(dǎo)電膠上粘附的異物，并用掃描電子顯微鏡上安裝的能譜儀對(duì)異物區(qū)域進(jìn)行EDX圖譜采集；

步驟五：對(duì)EDX譜圖進(jìn)行元素定性和半定量分析，得到零部件表面物質(zhì)的元素組成。

進(jìn)一步優(yōu)選地，步驟五中，元素的原子序數(shù)為5—92。

進(jìn)一步優(yōu)選地，步驟二中，待樣品臺(tái)與待測(cè)的零部件表面區(qū)域粘附時(shí)間達(dá)兩分鐘后，取下樣品臺(tái)。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述樣品臺(tái)是一內(nèi)螺紋樣品臺(tái)，所述內(nèi)螺紋樣品臺(tái)螺紋連接有一螺紋桿。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述樣品臺(tái)是釘形樣品臺(tái)；