[發明專利]一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法在審
| 申請號： | 202011561695.2 | 申請日： | 2020-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN112557431A | 公開（公告）日： | 2021-03-26 |
| 發明（設計）人： | 李文閣;賀賢漢;侯曉晨;張正偉;蔣立峰 | 申請（專利權）人： | 上海富樂德智能科技發展有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 上海申浩律師事務所 31280 | 代理人： | 陸葉 |
| 地址： | 200444 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 零部件 表面 污染物 組分 破壞性 檢測 方法 | ||
1.一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟一，雙面導電膠帶固定；
將掃描電子顯微鏡的樣品臺上鋪設雙面導電膠帶；
步驟二，樣品臺取樣；
撕除雙面導電膠帶上的保護條，將待測的零部件表面區域粘附在樣品臺上的雙面導電膠上；
步驟三，樣品臺密封保存；
將樣品臺取下并放入潔凈的樣品臺管中并固定，將樣品臺管密封；
步驟四，對異物區域進行EDX圖譜采集；
從樣品臺管中取下樣品臺并放入掃描電子顯微鏡的樣品艙中，利用掃描電子顯微鏡觀察雙面導電膠上粘附的異物，并用掃描電子顯微鏡上安裝的能譜儀對異物區域進行EDX圖譜采集；
步驟五：對EDX譜圖進行元素定性和半定量分析，得到零部件表面物質的元素組成。
2.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：步驟五中，元素的原子序數為5—92。
3.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：步驟二中，待樣品臺與待測的零部件表面區域粘附時間達兩分鐘后，取下樣品臺。
4.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：所述樣品臺是一內螺紋樣品臺，所述內螺紋樣品臺螺紋連接有一螺紋桿。
5.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：所述樣品臺是釘形樣品臺；
所述釘形樣品臺包括一臺體以及立柱，所述臺體與所述立柱固定連接。
6.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：所述雙面導電膠帶是雙面碳導電膠帶，膠帶的基底為絕緣無紡布或鋁箔。
7.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：步驟五中，EDX譜圖的采集時間不低于30秒。
8.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：所述雙面導電膠帶上粘附的異物為雙面導電膠帶與零部件表面接觸時從零部件表面粘取下來的物質，通常為顆粒狀或薄膜狀，在掃描電子顯微鏡照片中與雙面導電膠可清晰分辨。
9.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：步驟四中，利用掃描電子顯微鏡觀察導電膠上粘附的異物的方法為設定掃描電子顯微鏡加速電壓在15KV，調整放大倍率為1000-1500倍；
以“已”字形態移動樣品臺尋找異物；
找到視野中發亮的顆粒并確認為異物。
10.根據權利要求1所述的一種零部件表面污染物組分的非破壞性檢測方法，其特征在于：適用于氧化鋁陶瓷環部件或者具有氧化釔涂層的腔體部件的表面污染物的檢測。
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