[發明專利]一種等間距調節模組

在審

• 申請號: 202011560220.1
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN112635377A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 古市昌稔;胡啟凡;武一鳴
• 申請（專利權）人: 上海廣川科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;吳世華

1.一種等間距調節模組，其特征在于，包括電機、主動帶輪、從動帶輪、同步帶、滾珠絲杠組件，所述滾珠絲杠組件包括M個并列的滾珠絲杠單元，每個滾珠絲杠單元的下端固定從動帶輪，所述電機連接主動帶輪，所述同步帶纏繞在所述主動帶輪和從動帶輪上，所述電機通過同步帶帶動所述滾珠絲杠單元；所述滾珠絲桿單元包括N個滾珠絲杠，且所述N個滾珠絲杠通過聯軸器連接；所述滾珠絲桿連接執行器；M和N均為大于0的整數；

通過控制所述滾珠絲杠的導程以及正反轉情況，使得執行器隨著滾珠絲杠向上或者向下運動時保持間距相等。

2.根據權利要求1所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述執行器為M×N+1個，其中基準執行器的位置固定不動；其余M×N個執行器依次與所述滾珠絲杠連接。

3.根據權利要求2所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述滾珠絲杠包括左旋滾珠絲桿和右旋滾珠絲桿，所述左旋滾珠絲桿和右旋滾珠絲桿分別帶動所述執行器向上運動和向下運動。

4.根據權利要求3所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述左旋滾珠絲杠包括一個基準左旋滾珠絲杠，其余左旋滾珠絲杠的導程分別為基準左旋滾珠絲杠的n倍，且所有左旋滾珠絲杠的導程均不相同；

所述右旋滾珠絲杠包括一個基準右旋滾珠絲杠，其余右旋滾珠絲杠的導程分別為基準右旋滾珠絲杠的n倍，且所有右旋滾珠絲杠的導程均不相同；n為整數。

5.根據權利要求4所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述左旋滾珠絲杠連接的執行器位于所述基準執行器的上方；且導程越大的左旋滾珠絲杠連接的執行器的位置越靠上。

6.根據權利要求4所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述右旋滾珠絲杠連接的執行器位于所述基準執行器的下方；且導程越大的左旋滾珠絲杠連接的執行器的位置越靠下。

7.根據權利要求4所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述滾珠絲杠單元為兩個，每個滾珠絲杠單元中包括兩個滾珠絲杠，所述執行器為五個；其中，四個滾珠絲杠中包括導程為1的基準左旋滾珠絲杠、導程為2的左旋滾珠絲杠、導程為1的基準右旋滾珠絲杠、導程為2的右旋滾珠絲杠。

8.根據權利要求7所述的一種等間距調節模組，其特征在于，其中一個滾珠絲杠單元包括導程為1的基準左旋滾珠絲杠和導程為2的右旋滾珠絲杠，且導程為2的右旋滾珠絲杠位于導程為1的基準左旋滾珠絲杠的上方；

另外一個滾珠絲杠單元包括導程為1的基準右旋滾珠絲杠和導程為2的左旋滾珠絲杠，且導程為1的基準右旋滾珠絲杠位于導程為2的左旋滾珠絲杠的上方。

9.根據權利要求1所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述執行器為用于裝載晶圓的末端執行器，所述末端執行器包括固定手部和晶圓搭載部，所述固定手部固定在所述滾珠絲杠上，所述晶圓搭載部固定連接在所述固定手部上，且所述晶圓搭載部上包括晶圓接觸點。

10.根據權利要求9所述的一種等間距調節模組，其特征在于，所述晶圓接觸點分布在所述晶圓搭載部的四周，當晶搭載在所述晶圓搭載部時，所述晶圓接觸點與晶圓接觸。