[發(fā)明專利]一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011556272.1
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112871787B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙文
• 申請（專利權(quán)）人: 謙筑科技（上海）有限公司
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B5/04;B08B13/00
• 代理公司: 東莞市匯橙知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44571
• 代理人: 黎敏強

本發(fā)明涉及芯片制造技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，包括防護罩，所述防護罩的內(nèi)部固定安裝有電動導(dǎo)軌，所述電動導(dǎo)軌的頂部活動安裝有物料放置移動座，所述防護罩的左右兩側(cè)均嵌入有海綿塊，所述海綿塊上開設(shè)有穿孔，所述防護罩內(nèi)腔的頂壁固定安裝有清潔輥，所述防護罩內(nèi)腔的頂壁固定安裝有電動機，所述電動機的輸出軸處與清潔輥的外部均固定安裝有傳動盤。該防塵效果好的芯片制造防塵裝置，實現(xiàn)了清理的產(chǎn)生的灰塵通過吸塵管吸入收集箱內(nèi)進行儲存，同時密封網(wǎng)蓋實現(xiàn)了對灰塵的隔離避免灰塵進入軟管內(nèi)，從而方便了對上揚的灰塵進行處理，避免灰塵再次落到物料上，達不到好的防潮效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置。

背景技術(shù)

集成電路英語：integrated circuit，su縮寫IC；或稱微電路(microcircuit)、微芯片(microchip)和晶片/芯片(chip)在電子學(xué)中是一種將電路(主要包括半導(dǎo)體設(shè)備，也包括被動組件等)小型化的方式，并時常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上。

隨著時代和科技的發(fā)展，科技的進步同時促進了芯片制造防塵裝置的技術(shù)進步，但是依然存在著缺陷，現(xiàn)在的芯片制造防塵裝置結(jié)構(gòu)簡單，達不到好的防塵效果的同時，不便于對灰塵進行處理，故而提出了一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置解決這一問題。

發(fā)明內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，具備防塵效果好，便于處理灰塵等優(yōu)點，解決了現(xiàn)在的芯片制造防塵裝置結(jié)構(gòu)簡單，達不到好的防塵效果的同時，不便于對灰塵進行處理的問題。

(二)技術(shù)方案

為實現(xiàn)上述防塵效果好，便于處理灰塵目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，包括防護罩，所述防護罩的內(nèi)部固定安裝有電動導(dǎo)軌，所述電動導(dǎo)軌的頂部活動安裝有物料放置移動座，所述防護罩的左右兩側(cè)均嵌入有海綿塊，所述海綿塊上開設(shè)有穿孔，所述防護罩內(nèi)腔的頂壁固定安裝有清潔輥，所述防護罩內(nèi)腔的頂壁固定安裝有電動機，所述電動機的輸出軸處與清潔輥的外部均固定安裝有傳動盤，兩個所述傳動盤的外部均與傳動帶套接，所述防護罩的頂部固定安裝有數(shù)量為兩個的抽氣泵，所述防護罩內(nèi)腔頂壁的左側(cè)固定安裝有數(shù)量為兩個的伸縮桿，兩個所述伸縮桿的底部均與圓盤固定連接，所述圓盤的底部連通有吸頭，所述防護罩的頂部固定安裝有與圓盤固定連接的電動推桿，所述防護罩的頂部固定安裝有傳動電機，左側(cè)所述抽氣泵的頂部與圓盤之間連通有連接管，所述防護罩內(nèi)腔的頂壁開設(shè)有導(dǎo)動槽，所述導(dǎo)動槽內(nèi)滑動連接有移動架，所述移動架的右側(cè)固定安裝有齒條，所述傳動電機的輸出軸處固定安裝有與齒條嚙合的齒盤，所述移動架的底部固定安裝有伺服電機，所述伺服電機的輸出軸處固定安裝有清潔刷盤，所述防護罩內(nèi)腔的底壁固定安裝有吸塵管，所述吸塵管的頂部連通有吸管，所述防護罩的前表面固定安裝有與吸管連通的收集箱，所述收集箱的頂部插接有密封網(wǎng)蓋，右側(cè)所述抽氣泵與密封網(wǎng)蓋之間連通有軟管。

優(yōu)選的，所述防護罩前表面的左側(cè)固定安裝有充電蓄電池，所述電動導(dǎo)軌、電動機、抽氣泵、電動推桿、傳動電機和伺服電機均與充電蓄電池電連接。

優(yōu)選的，所述吸塵管由直管和吸塵頭組成，所述直管的頂部連通有吸塵頭。

優(yōu)選的，所述圓盤由空心圓盤和吸頭組成，所述空心圓盤的底部連通有吸頭。

優(yōu)選的，所述導(dǎo)動槽呈長方形，所述移動架位于導(dǎo)動槽的后側(cè)時清潔刷盤位于圓盤的后側(cè)。

優(yōu)選的，所述齒條為齒盤狀長方體，且齒條的長度等于導(dǎo)動槽的長度。

優(yōu)選的，所述清潔輥的外側(cè)活動安裝有穩(wěn)定架，且清潔輥與穩(wěn)定架的連接方式為轉(zhuǎn)動連接。

優(yōu)選的，所述密封網(wǎng)蓋的底部固定安裝有防塵網(wǎng)，收集箱的頂部呈開口狀。