[發(fā)明專利]一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011556272.1
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112871787B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙文
• 申請（專利權(quán)）人: 謙筑科技（上海）有限公司
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B5/04;B08B13/00
• 代理公司: 東莞市匯橙知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44571
• 代理人: 黎敏強

1.一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，包括防護罩(1)，其特征在于：所述防護罩(1)的內(nèi)部固定安裝有電動導(dǎo)軌(2)，所述電動導(dǎo)軌(2)的頂部活動安裝有物料放置移動座(3)，所述防護罩(1)的左右兩側(cè)均嵌入有海綿塊(4)，所述海綿塊(4)上開設(shè)有穿孔(5)，所述防護罩(1)內(nèi)腔的頂壁固定安裝有清潔輥(6)，所述防護罩(1)內(nèi)腔的頂壁固定安裝有電動機(7)，所述電動機(7)的輸出軸處與清潔輥(6)的外部均固定安裝有傳動盤(8)，兩個所述傳動盤(8)的外部均與傳動帶(9)套接，所述防護罩(1)的頂部固定安裝有數(shù)量為兩個的抽氣泵(10)，所述防護罩(1)內(nèi)腔頂壁的左側(cè)固定安裝有數(shù)量為兩個的伸縮桿(11)，兩個所述伸縮桿(11)的底部均與圓盤(12)固定連接，所述圓盤(12)的底部連通有吸頭(13)，所述防護罩(1)的頂部固定安裝有與圓盤(12)固定連接的電動推桿(14)，所述防護罩(1)的頂部固定安裝有傳動電機(16)，左側(cè)所述抽氣泵(10)的頂部與圓盤(12)之間連通有連接管(17)，所述防護罩(1)內(nèi)腔的頂壁開設(shè)有導(dǎo)動槽(18)，所述導(dǎo)動槽(18)內(nèi)滑動連接有移動架(19)，所述移動架(19)的右側(cè)固定安裝有齒條(15)，所述傳動電機(16)的輸出軸處固定安裝有與齒條(15)嚙合的齒盤(22)，所述移動架(19)的底部固定安裝有伺服電機(20)，所述伺服電機(20)的輸出軸處固定安裝有清潔刷盤(21)，所述防護罩(1)內(nèi)腔的底壁固定安裝有吸塵管(23)，所述吸塵管(23)的頂部連通有吸管(24)，所述防護罩(1)的前表面固定安裝有與吸管(24)連通的收集箱(25)，所述收集箱(25)的頂部插接有密封網(wǎng)蓋(26)，右側(cè)所述抽氣泵(10)與密封網(wǎng)蓋(26)之間連通有軟管(27)；

通過設(shè)置的電動導(dǎo)軌(2)，從而實現(xiàn)了物料放置移動座(3)在電動導(dǎo)軌(2)上移動的同時，配合電動機(7)帶動傳動盤(8)轉(zhuǎn)動的同時傳動帶(9)傳動，帶動清潔輥(6)轉(zhuǎn)動對物料放置移動座(3)上的芯片進行清理防塵，同時待物料放置移動座(3)移動至圓盤(12)下方的同時配合電動推桿(14) 推動圓盤(12)向下移動，伸縮桿(11)同步進行伸縮支撐，使抽氣泵(10)工作，通過抽氣泵(10)、連接管(17)、圓盤(12)和吸頭(13)之間的互相連通，使吸頭(13)對芯片進行吸附上升，同時配合傳動電機(16)帶動齒盤(22)轉(zhuǎn)動，利用齒盤(22)與齒條(15)嚙合，實現(xiàn)了齒條(15)帶動移動架(19)在導(dǎo)動槽(18)內(nèi)移動，使清潔刷盤(21)位于圓盤(12)的下方，通過伺服電機(20)帶動清潔刷盤(21)轉(zhuǎn)動對芯片的背面進行清潔防塵，同時待清理防塵完成后電動推桿(14)推動圓盤(12)下移，使吸頭(13)上的芯片放置在物料放置移動座(3)上，如此往復(fù)從而實現(xiàn)了對物料的清理防塵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，其特征在于：所述防護罩(1)前表面的左側(cè)固定安裝有充電蓄電池(28)，所述電動導(dǎo)軌(2)、電動機(7)、抽氣泵(10)、電動推桿(14)、傳動電機(16)和伺服電機(20)均與充電蓄電池(28)電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，其特征在于：所述吸塵管(23)由直管和吸塵頭組成，所述直管的頂部連通有吸塵頭。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，其特征在于：所述圓盤(12)由空心圓盤和吸頭組成，所述空心圓盤的底部連通有吸頭。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，其特征在于：所述導(dǎo)動槽(18)呈長方形，所述移動架(19)位于導(dǎo)動槽(18)的后側(cè)時清潔刷盤(21)位于圓盤(12)的后側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，其特征在于：所述齒條(15)為齒盤狀長方體，且齒條(15)的長度等于導(dǎo)動槽(18)的長度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防塵效果好的芯片制造防塵裝置，其特征在于：所述清潔輥(6)的外側(cè)活動安裝有穩(wěn)定架，且清潔輥(6)與穩(wěn)定架的連接方式為轉(zhuǎn)動連接。