[發明專利]一種石墨烯VC均熱板及其加工方法

在審

• 申請號: 202011552979.5
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112696952A
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 李剛;張承平
• 申請（專利權）人: 蘇州高松野岡石墨烯新材料有限公司
• 主分類號: F28D15/04
• 分類號: F28D15/04;F28F9/007;F28F9/26;F28F21/02;F28F21/08;H01L23/427
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

1.一種石墨烯VC均熱板及其加工方法，包括上層板(1)，其特征在于：所述上層板(1)的底部連接有下層板(2)，所述上層板(1)與下層板(2)之間設置有毛細芯層(3)，所述毛細芯層(3)固定安裝于上層板(1)的底部，所述下層板(2)的內部設置有填充室(4)，所述填充室(4)的內部均勻設置有多個微細凸柱(5)，所述微細凸柱(5)與下層板(2)一體成型設置。

2.根據權利要求1所述的一種石墨烯VC均熱板，其特征在于：所述上層板(1)和下層板(2)的一端均固定連接有外凸起(6)。

3.根據權利要求2所述的一種石墨烯VC均熱板，其特征在于：所述下層板(2)一端的外凸起(6)的頂部設置有流道(7)，所述流道(7)的一端與填充室(4)連通。

4.一種石墨烯VC均熱板的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、原料加工，先用石墨烯銅箔剪切出相應形狀的上層板(1)和下層板(2)備用，并利用光學半導體蝕刻法，在下層板(2)的內表面蝕刻出填充室(4)，同時預留出相應數量的微細凸柱(5)，并在下層板(2)一端外凸起(6)的內側蝕刻出流道(7)；

步驟二、毛細芯層(3)的焊接，選用微細銅絲網作為毛細芯層(3)，并將毛細芯層(3)壓焊至上層板(1)的內表面；

步驟三、組合焊接，對上層板(1)和下層板(2)的連接面進行打磨，隨后將上層板(1)和下層板(2)進行組合焊接，使填充室(4)形成一個密閉腔；

步驟四、液體填充，在毛細芯層(3)底部對應流道(7)外端的位置處開一個小孔，隨后通過小孔和流道(7)向填充室(4)中填充液體，最后對小孔進行封堵，即可完成加工。

5.根據權利要求4所述的一種石墨烯VC均熱板的加工方法，其特征在于：所述步驟四中填充的液體可選用去離子水。

6.根據權利要求4所述的一種石墨烯VC均熱板的加工方法，其特征在于：所述步驟四中液體填充前對填充室(4)進行抽真空處理。