[發(fā)明專利]柔性顯示面板及其制備方法

有效

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• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112670248B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘杰
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/84
• 分類號: H01L21/84;H01L27/12;H01L27/32;G09F9/30;G09F9/33
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 劉泳麟

本發(fā)明公開了一種柔性顯示面板及其制備方法，包括如下步驟：提供一剛性基板，在所述剛性基板上形成磁性復(fù)合膜層；在所述磁性復(fù)合膜層上形成柔性襯底；在所述柔性襯底上形成陣列驅(qū)動層；在所述陣列驅(qū)動層上形成發(fā)光器件層；在所述發(fā)光器件層上形成封裝層；以及，對所述磁性復(fù)合膜層施加磁場，使得所述磁性復(fù)合膜層發(fā)生形變，與所述剛性基板剝離。在本發(fā)明提供的這一制備方法中，采用增設(shè)磁性復(fù)合膜層并施加磁場，通過磁場磁力的作用實(shí)現(xiàn)剝離，從而取代現(xiàn)有技術(shù)中通常采用的激光剝離工藝，可解決在剝離制程中，易導(dǎo)致顯示面板器件損傷的問題，并且，該剝離技術(shù)操作簡便，具有較高的剝離良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種柔性顯示面板及其制備方法。

背景技術(shù)

隨著有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)技術(shù)的發(fā)展，柔性O(shè)LED顯示裝置由于具有可彎曲、易攜帶等優(yōu)點(diǎn)正被各大面板廠商深入研究，成為目前顯示技術(shù)的主要開發(fā)領(lǐng)域。其中，在柔性O(shè)LED顯示面板的制備中，如何在不破壞顯示元件的前提下，實(shí)現(xiàn)柔性襯底與剛性承載基板的分離是當(dāng)前柔性O(shè)LED顯示面板的制備之中的關(guān)鍵技術(shù)之一。

在目前通用的柔性O(shè)LED顯示面板的制備方法中，通常先在剛性基板上涂布形成柔性襯底，再依次制作陣列驅(qū)動層、有機(jī)發(fā)光層以及封裝層，最后再通過激光剝離工藝，使柔性襯底與剛性基板分離。然而，此種激光剝離技術(shù)存在如下弊端：其一，激光設(shè)備成本較高；其二，激光能量較難精確控制，若能量過高，則易造成陣列驅(qū)動層中薄膜晶體管器件的損傷，進(jìn)而造成顯示畫面不良等缺陷，若能量過低，則柔性襯底又無法完全從剛性基板上剝離，進(jìn)而造成剝離良率低的問題。基于目前激光剝離工藝存在的問題，亟需開發(fā)一種新的剝離技術(shù)以克服前述缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種柔性顯示面板及其制備方法，通過該制備方法，可大大提升柔性襯底與剛性基板的剝離良率，同時(shí)避免剝離過程中易導(dǎo)致器件損傷的問題。

為解決上述問題，第一方面，本發(fā)明提供一種柔性顯示面板的制備方法，包括如下步驟：

S10:提供一剛性基板，在所述剛性基板上形成磁性復(fù)合膜層；

S20:在所述磁性復(fù)合膜層上形成柔性襯底；

S30:在所述柔性襯底上形成陣列驅(qū)動層；

S40:在所述陣列驅(qū)動層上形成發(fā)光器件層；

S50:在所述發(fā)光器件層上形成封裝層；以及

S60:對所述磁性復(fù)合膜層施加磁場，使得所述磁性復(fù)合膜層發(fā)生形變，與所述剛性基板剝離。

進(jìn)一步地，在所述步驟S10中，所述磁性復(fù)合膜層包括磁性粒子與具有彈性的有機(jī)材料。

進(jìn)一步地，在所述步驟S10中，所述磁性復(fù)合膜層的厚度為6-10微米。

進(jìn)一步地，所述磁性粒子在所述磁性復(fù)合膜層中的重量百分含量為2％-10％。

進(jìn)一步地，所述磁性粒子為三氧化二鐵與四氧化三鐵的混合物，其中，所述三氧化二鐵的重量百分含量為2％-80％，所述四氧化三鐵的重量百分含量為20％-98％。

進(jìn)一步地，所述有機(jī)材料為聚乙烯醇凝膠。

進(jìn)一步地，在所述步驟S10中，所述磁性復(fù)合膜層通過涂布工藝或轉(zhuǎn)印工藝形成。

進(jìn)一步地，在所述步驟S60中，所述磁場的強(qiáng)度為20-100毫特斯拉。

進(jìn)一步地，在所述步驟S60后，還包括步驟：使用溶解劑將所述磁性復(fù)合膜層從所述柔性襯底上溶解去除。

為解決上述問題，第二方面，本發(fā)明還提供了一種柔性顯示面板，由前述的柔性顯示面板的制備方法制備而得。