[發(fā)明專利]柔性顯示面板及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011550836.0 | 申請日: | 2020-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN112670248B | 公開(公告)日: | 2022-10-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 潘杰 | 申請(專利權(quán))人: | 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/84 | 分類號: | H01L21/84;H01L27/12;H01L27/32;G09F9/30;G09F9/33 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570 | 代理人: | 劉泳麟 |
| 地址: | 430079 湖北省武漢市東湖新技術(shù)*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 柔性 顯示 面板 及其 制備 方法 | ||
1.一種柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
S10:提供一剛性基板,在所述剛性基板上形成磁性復(fù)合膜層;
S20:在所述磁性復(fù)合膜層上形成柔性襯底;
S30:在所述柔性襯底上形成陣列驅(qū)動層;
S40:在所述陣列驅(qū)動層上形成發(fā)光器件層;
S50:在所述發(fā)光器件層上形成封裝層;以及
S60:對所述磁性復(fù)合膜層施加磁場,使得所述磁性復(fù)合膜層發(fā)生形變,與所述剛性基板剝離;
S70:將所述磁性復(fù)合膜層從所述柔性襯底上去除。
2.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,在所述步驟S10中,所述磁性復(fù)合膜層包括磁性粒子與具有彈性的有機(jī)材料。
3.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,在所述步驟S10中,所述磁性復(fù)合膜層的厚度為6-10微米。
4.如權(quán)利要求2所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,所述磁性粒子在所述磁性復(fù)合膜層中的重量百分含量為2%-10%。
5.如權(quán)利要求2所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,所述磁性粒子為三氧化二鐵與四氧化三鐵的混合物,其中,所述三氧化二鐵的重量百分含量為2%-80%,所述四氧化三鐵的重量百分含量為20%-98%。
6.如權(quán)利要求2所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,所述有機(jī)材料為聚乙烯醇凝膠。
7.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,在所述步驟S10中,所述磁性復(fù)合膜層通過涂布工藝或轉(zhuǎn)印工藝形成。
8.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,在所述步驟S60中,所述磁場的強(qiáng)度為20-100毫特斯拉。
9.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制備方法,其特征在于,所述步驟S70包括:使用溶解劑將所述磁性復(fù)合膜層從所述柔性襯底上溶解去除。
10.一種柔性顯示面板,其特征在于,所述柔性顯示面板由權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的柔性顯示面板的制備方法制備而得。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





