[發明專利]可實現雙片晶圓同槽同步鍍膜的電鍍槽體

在審

• 申請號: 202011546085.5
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN112522769A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 王殿;魏宇祥;王海軍;郝鵬飛
• 申請（專利權）人: 西北電子裝備技術研究所（中國電子科技集團公司第二研究所）
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D5/08;C25D7/12;C25D21/10
• 代理公司: 山西華炬律師事務所 14106
• 代理人: 陳奇

1.一種可實現雙片晶圓同槽同步鍍膜的電鍍槽體，包括箱形電鍍槽體（1），在箱形電鍍槽體（1）的頂端設置有雙口形頂板（3），在箱形電鍍槽體（1）中，分別設置有左側溢流立板（2）和右側溢流立板（9），在雙口形頂板（3）的左口中，設置有左晶圓掛具（4），在雙口形頂板（3）的右口中，設置有右晶圓掛具（5），在左側溢流立板（2）的右側面上，設置有左陽極板（7），在右側溢流立板（9）的左側立面上，設置有右陽極板（21），在左晶圓掛具（4）上設置有第一片晶圓，在右晶圓掛具（5）上設置有第二片晶圓；其特征在于，在左晶圓掛具（4）正下方的箱形電鍍槽體（1）的槽底面上，設置有左攪拌槳擺板鉸接軸（20），左攪拌槳擺板（19）的下底面中部鉸接在左攪拌槳擺板鉸接軸（20）上，在右晶圓掛具（5）正下方的箱形電鍍槽體（1）的槽底面上，設置有右攪拌槳擺板鉸接軸（12），右攪拌槳擺板（13）的下底面中部鉸接在右攪拌槳擺板鉸接軸（12）上，在左攪拌槳擺板（19）的頂端面右后端，設置有左連桿（18），左連桿（18）的上端與翹翹板擺臂（15）的左端鉸接在一起，在右攪拌槳擺板（13）的頂端面左后端，設置有右連桿（14），右連桿（14）的上端與翹翹板擺臂（15）的右端鉸接在一起，在翹翹板擺臂（15）的正后方的箱形電鍍槽體（1）的后側板上設置有軸承（16），在軸承（16）中設置有驅動軸（17），驅動軸（17）的前側端與翹翹板擺臂（15）的中部固定連接在一起，驅動軸（17）的后側端與驅動電機的輸出軸連接在一起。

2.根據權利要求1所述的一種可實現雙片晶圓同槽同步鍍膜的電鍍槽體，其特征在于，在左陽極板（7）與左晶圓掛具（4）之間，設置有左屏蔽板（6），在右陽極板（21）與右晶圓掛具（5）之間，設置有右屏蔽板（11）；在左晶圓掛具（4）上，設置有左陰極接電柱（8），在右晶圓掛具（5）上，設置有右陰極接電柱（10）。