[發明專利]用于檢查的探針裝置

在審

• 申請號: 202011540588.1
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN113030532A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 鄭永倍
• 申請（專利權）人: 株式會社ISC
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

用于檢查的探針裝置，至少一部分插入到具有內部空間的管內并用于測試插座，包括：第二主體部，具有多邊形或圓形的柱形狀；第一主體部，層疊配置在第二主體部的上部且與第二主體部一體地形成，具有多邊形或圓形的柱形狀；中間部，層疊配置在第一主體部的上部且與第一主體部一體地形成，在上側形成具有第一頂點部的第一突起；接觸部，與中間部一體地形成在中間部的上表面，且在與第一突起對應的位置處沿第一突起的外形布置第二突起，第二突起在垂直于中間部的上表面的方向上具有增加的高度且形成有第二頂點部，第二主體部、第一主體部、中間部及接觸部依次向上方層疊形成，中間部與接觸部由彼此不同的材料形成，在第二突起的內部布置有第一突起。

技術領域

本發明涉及一種用于檢查的探針裝置，更詳細來說涉及一種可防止在頻繁的接觸過程中層疊結構分離的用于檢查的探針裝置。

背景技術

在完成半導體器件之后，進行電氣檢查以確認有無正常操作或可靠性。在這種電氣檢查中，使用包括焊盤的測試裝置與測試插座(test socket)。

測試插座將半導體器件的端子與測試裝置的焊盤連接，且半導體器件的端子與測試裝置可通過測試插座交換電信號。

為此，在測試插座的內部配置有彈簧針(pogo pin)作為電連接單元。彈簧針由探針部件、彈性部件組成，且由于它使半導體器件與測試裝置的接觸平穩，可緩沖在接觸時可能發生的機械沖擊，因此在許多測試插座中使用。

在圖1中概略性地示出根據以往技術的彈簧針。如圖1所示，彈簧針在主體1004的兩端突出地設置上部柱塞1005及下部柱塞1006，且在主體1004的內部插入有彈簧1007。上部柱塞1005與下部柱塞1006通過彈簧1007在彼此遠離的方向上偏壓。此時，上部柱塞1005與半導體器件1001的端子1002接觸，下部柱塞1006與測試裝置1008的焊盤1009接觸，并使半導體器件1001的端子1002與測試裝置1008的焊盤1009電連接。

韓國注冊專利第10-1439342號中揭示了根據另一以往技術的彈簧針。具體來說，參照圖2及圖3進行說明，彈簧針包括：探針部件1110；主體1120；彈性部件1130，配置在主體1120內，且使探針部件1110向上側偏移；下部探針部件1140，至少一部分通過主體1120的下部開口突出，且通過彈性部件1130進行支撐。另外，探針部件1110是包括探針部1112a至1114a與結合部1112b至1114b的多個探針板1112至1116彼此一體化附接而成。

根據此種以往技術的彈簧針具有如下所述的問題。

由于與端子直接接觸的探針部以板形形成，因此在與半導體器件的端子的接觸面積方面存有限制。

另外，探針部要求高耐磨性以承受從半導體器件傳遞的集中荷載，且結合部需要高導電性以彌補探針部的導電度損失，但是以往技術的探針部基于接觸部位水平地層疊，即使探針部與結合部由彼此不同的材料形成，也難以表現出這些材料的固有的電氣特性、機械特性。即，以往技術具有彈簧針所要求的耐磨性及導電性弱的問題。

作為另一以往技術，存在如圖4及圖6所示的用于檢查的探針裝置。這種用于檢查的探針裝置2000、2001包括：一個以上的接觸部2010，一端尖銳地形成，且與被檢查體接觸；第一主體部2020、2021，在一端結合所述接觸部的另一端，具有多邊形或圓形的柱形狀；第二主體部2030、2031，在一端結合所述第一主體部2020、2021的另一端，且具有多邊形或圓形的柱形狀；第三主體部2040、2041，在一端結合所述第二主體部2030、2031的另一端，且具有多邊形或圓形的柱形狀。

此時，第一主體部2020、2021、第二主體部2030、2031及第三主體部2040、2041以所述接觸部2010、2011的另一端為基準在高度方向上層疊。