[發明專利]用于檢查的探針裝置

在審

• 申請號: 202011540588.1
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN113030532A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 鄭永倍
• 申請（專利權）人: 株式會社ISC
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種用于檢查的探針裝置，至少一部分插入到形成有內部空間的管內并用于測試插座，其特征在于，所述用于檢查的探針裝置包括：

第二主體部，具有多邊形或圓形的柱形狀；

第一主體部，層疊配置在所述第二主體部的上部且與所述第二主體部一體地形成，并具有多邊形或圓形的柱形狀；

中間部，層疊配置在所述第一主體部的上部且與所述第一主體部一體地形成，并在上側形成具有第一頂點部的尖銳的第一突起；以及

接觸部，與所述中間部一體地形成在所述中間部的上表面，且在與所述第一突起對應的位置處沿所述第一突起的外形布置第二突起，所述第二突起在垂直于所述中間部的上表面的方向上具有增加的高度且形成有第二頂點部，

所述第二主體部、所述第一主體部、所述中間部及所述接觸部依次向上方層疊形成，

所述中間部與所述接觸部由彼此不同的材料形成，

在所述第二突起的內部布置有所述第一突起。

2.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述第一突起具有隨著接近所述第一頂點部而向上方傾斜的第一傾斜面，所述第二突起具有隨著接近所述第二頂點部而向上方傾斜的第二傾斜面。

3.根據權利要求2所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述第一傾斜面與所述第二傾斜面平行。

4.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述第二主體部、所述第一主體部、所述中間部及所述接觸部是在基板形成抗蝕劑圖案后通過填充導電性材料的微機電系統工藝制造而成。

5.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述接觸部由與所述中間部相比硬度高的材料形成。

6.根據權利要求5所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述接觸部的維氏硬度為600Hv以上。

7.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述接觸部由與所述中間部相比耐磨性優異的材料形成。

8.根據權利要求7所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述接觸部由包含碳、硼、氧的硬化元素的合金材料形成。

9.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述中間部的導電性優于所述接觸部的導電性。

10.根據權利要求9所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述中間部由導電率為50％IACS以上的材料形成。

11.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述接觸部的上下方向的厚度為20μm以上。

12.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述第二突起的最大外徑相同於所述第一突起的最大外徑。

13.根據權利要求1所述的用于檢查的探針裝置，其特征在于，

所述第二突起的最大外徑大於所述第一突起的最大外徑。