[發明專利]頭芯片的制造方法和液體噴射頭的頭芯片

在審

• 申請號: 202011539298.5
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN113085377A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 宗像優;西川大地;久保田禪;山村祐樹;中村裕二
• 申請（專利權）人: 精工電子打印科技有限公司
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉林華;陳浩然

本發明涉及頭芯片的制造方法和液體噴射頭的頭芯片。本發明確保電極之間的絕緣，使對液體的耐受性提高。在壓電基板的表面形成導電膜，在壓電基板所具有的第一槽與第二槽之間，對導電膜沿槽延伸方向進行激光加工，在第一槽與第二槽之間的壓電基板的表面，形成除去了導電膜的激光加工區域。在激光加工區域的形成中，沿著沿槽延伸方向伸展的多條激光加工線照射激光。進而，對于多條激光加工線中的每條，經過多次照射激光，沿著多條激光加工線中的同一激光加工線進行的激光的照射從結束先實行的激光照射起直至開始隨后的激光照射，空出時間而進行。

技術領域

本公開涉及頭芯片的制造方法和液體噴射頭的頭芯片。

背景技術

作為將圖像或文字等記錄于記錄紙等被記錄介質的記錄裝置，已知有具備液體噴射頭的液體噴射記錄裝置。在該液體噴射頭設有頭芯片，在具備液體噴射頭的液體噴射記錄裝置中，液體經由頭芯片朝向被記錄介質被噴射，圖像或文字等被記錄于被記錄介質。

液體噴射頭的頭芯片具備在液體噴射時被電驅動的促動器板，在該促動器板，形成有以對作為噴射對象的液體賦予壓力為目的的多個槽，并且在這些多個槽的內側面設有電極。

在專利文獻1中，關于促動器板的制作，公開了將激光加工適用于與導電膜絕緣的電極圖案的形成。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平11-078001號公報。

發明內容

發明要解決的課題

在促動器板的制作中，期望在被施予不同電壓的電極彼此之間確保足夠的距離。認識到如下現象：噴射的次數，即促動器板的驅動次數越是增加，越是在形成于促動器板的表面的保護膜等中產生剝離或破損，液體越是浸透至保護膜等。如果液體的浸透推進，則有時候液體成為媒介而在電極彼此之間產生短路。電極之間的短路不僅因浸透至保護膜等的液體成為媒介而產生，而且還可能由于液體成為能夠透過保護膜等的狀態(例如霧狀)而產生。于是，這樣的短路處于相鄰的電極彼此越是位于互相接近的位置就越早產生的傾向。在使用激光加工的促動器板的制作中，也同樣應該在電極彼此之間確保距離。

用于解決課題的方案

在本公開的一個方式中，提供了具有促動器板并由促動器板將壓力施加至液體而噴射液體的頭芯片的制造方法。本方式所涉及的頭芯片的制造方法包括：制作促動器板；和在促動器板的表面，接合具有液體的噴射孔的噴嘴板，制作促動器板包括：準備壓電基板，其是具有一端及其相反側的另一端的壓電基板，具有沿從一端側朝向另一端側的槽延伸方向延伸設置并且與噴射孔連通的第一槽、和在與槽延伸方向交叉的方向上的第一槽的至少一側沿槽延伸方向延伸設置的第二槽；在壓電基板的表面形成導電膜；在第一槽與第二槽之間，對導電膜沿槽延伸方向進行激光加工，在第一槽與第二槽之間的壓電基板的表面，形成除去了導電膜的激光加工區域。而且，在形成激光加工區域時，沿著沿槽延伸方向伸展的多條激光加工線照射激光，并且對多條激光加工線中的每條，經過多次照射激光，沿著多條激光加工線中的同一激光加工線進行的激光的照射從結束先實行的激光照射起直至開始隨后的激光照射，空出時間而進行。