[發(fā)明專利]一種薄膜滲透測(cè)試的腔體結(jié)構(gòu)、設(shè)備及方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011531572.4
• 申請(qǐng)日: 2020-12-22
• 公開（公告）號(hào): CN112649343A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜允中
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 濟(jì)南蘭光機(jī)電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N15/08
• 分類號(hào): G01N15/08
• 代理公司: 濟(jì)南圣達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37221
• 代理人: 張勇

1.一種薄膜滲透測(cè)試的腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括：

測(cè)試腔體；

測(cè)試腔體的開口一側(cè)開有用于與試樣相對(duì)的凹槽，測(cè)試腔體開有與凹槽連通的抽氣端口，測(cè)試腔體還開有分別與測(cè)試腔體的內(nèi)腔連通的載氣進(jìn)氣端口和載氣出氣端口。

2.如權(quán)利要求1所述的薄膜滲透測(cè)試的腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于：

凹槽內(nèi)設(shè)有真空環(huán)，且真空環(huán)為多孔網(wǎng)狀支撐體；

或者，

凹槽為繞測(cè)試腔體的內(nèi)腔開口的閉環(huán)凹槽；

或者，

凹槽為繞測(cè)試腔體的內(nèi)腔開口的非閉環(huán)凹槽；

或者，

凹槽為繞測(cè)試腔體的內(nèi)腔開口的多個(gè)間隔設(shè)置的凹槽；

或者，

凹槽為繞測(cè)試腔體的內(nèi)腔開口的多個(gè)凹槽，且相鄰的兩個(gè)凹槽之間開有與抽氣端口連通的至少一個(gè)孔；

或者，

每個(gè)測(cè)試腔體包括至少一個(gè)內(nèi)腔，每個(gè)內(nèi)腔對(duì)應(yīng)一個(gè)獨(dú)立的開口。

3.一種薄膜滲透測(cè)試的腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括：

測(cè)試腔體；

測(cè)試腔體的開口一側(cè)開有用于與試樣相對(duì)的多個(gè)孔，測(cè)試腔體開有與各個(gè)孔連通的抽氣端口，測(cè)試腔體還開有分別與測(cè)試腔體的內(nèi)腔連通的載氣進(jìn)氣端口和載氣出氣端口。

4.如權(quán)利要求3所述的薄膜滲透測(cè)試的腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于：

孔內(nèi)設(shè)有多孔網(wǎng)狀支撐體；

或者，

各個(gè)相鄰孔之間的距離相同；

或者，

各個(gè)孔繞測(cè)試腔體的內(nèi)腔開口依次設(shè)置；

或者，

相鄰的兩個(gè)孔之間設(shè)有與抽氣端口連通的至少一個(gè)凹槽；

或者，

每個(gè)測(cè)試腔體包括至少一個(gè)內(nèi)腔，每個(gè)內(nèi)腔對(duì)應(yīng)一個(gè)獨(dú)立的開口。

5.一種薄膜滲透測(cè)試設(shè)備，其特征在于：包括權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的薄膜滲透測(cè)試的腔體結(jié)構(gòu)。

6.一種薄膜滲透測(cè)試設(shè)備，其特征在于：包括均含有內(nèi)腔的第一倉體和第二倉體，第一倉體設(shè)置在第二倉體的上部或者側(cè)部，第一倉體的內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有至少一個(gè)傳感元件，第二倉體的內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有至少一個(gè)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的腔體結(jié)構(gòu)，第一倉體的內(nèi)腔和第二倉體的內(nèi)腔通過至少一條管路連通；

或者，

包括含有內(nèi)腔的倉體，倉體的內(nèi)腔中設(shè)有板件，板件將內(nèi)腔分成獨(dú)立的第一內(nèi)腔和第二內(nèi)腔，第一內(nèi)腔設(shè)置在第二內(nèi)腔的上部或者側(cè)部，第一內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)傳感元件，第二內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有至少一個(gè)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的腔體結(jié)構(gòu)，板件上設(shè)有至少一個(gè)用于管路通過的通孔。

7.如權(quán)利要求6所述的薄膜滲透測(cè)試設(shè)備，其特征在于：

腔體結(jié)構(gòu)所在的內(nèi)腔側(cè)壁固定有至少一個(gè)板件，至少一個(gè)腔體結(jié)構(gòu)與板件上的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)端連接，腔體結(jié)構(gòu)所在的內(nèi)腔側(cè)壁上開有至少一個(gè)用于腔體結(jié)構(gòu)進(jìn)出的通槽；

推拉件的第一端穿過通槽后與腔體結(jié)構(gòu)固定連接，推拉件的第二端設(shè)有擋板且位于倉體外側(cè)，擋板與通槽相對(duì)的一側(cè)設(shè)有密封墊。

8.如權(quán)利要求7所述的薄膜滲透測(cè)試設(shè)備，其特征在于：

包括至少兩個(gè)平行的板件，每個(gè)板件的兩側(cè)均固定有至少兩條平行的分別用于載氣進(jìn)氣管和載氣出氣管通過的導(dǎo)向槽；

或者，

包括至少兩個(gè)平行的板件，每個(gè)板件的兩側(cè)均固定有至少兩條平行的分別用于載氣進(jìn)氣管和載氣出氣管通過的導(dǎo)向槽，腔體結(jié)構(gòu)所在的內(nèi)腔頂壁上設(shè)有用于管路通過的槽。