[發明專利]一種薄膜滲透測試的腔體結構、設備及方法

在審

• 申請號: 202011531572.4
• 申請日: 2020-12-22
• 公開（公告）號: CN112649343A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 姜允中
• 申請（專利權）人: 濟南蘭光機電技術有限公司
• 主分類號: G01N15/08
• 分類號: G01N15/08
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 張勇

本公開提供了一種薄膜滲透測試的腔體結構、設備及方法，所述腔體結構包括測試腔體；測試腔體的開口一側開有用于與試樣相對的凹槽，測試腔體開有與凹槽連通的抽氣端口，測試腔體還開有分別與測試腔體的內腔連通的載氣進氣端口和載氣出氣端口；本公開可以檢測出測試腔體間是否放置試樣，有效的避免了無效的試驗和傳感器的損壞；實現了無上腔測試，在進行批量測試時能夠保證溫濕度的一致性，實現更精確的批量測試，提高了測試精度。

技術領域

本公開涉及薄膜滲透測試技術領域，特別涉及一種薄膜滲透測試的腔體結構、設備及方法。

背景技術

本部分的陳述僅僅是提供了與本公開相關的背景技術，并不必然構成現有技術。

在進行薄膜滲透檢測時，現有的測試結構由測試上腔及測試下腔組成，將被測試樣(薄膜)放在上下腔之間。測試時，測試上腔將被測試樣壓緊在下腔上。

本公開發明人發現：

(1)現有的薄膜滲透檢測產品，通常不對是否放置試樣進行預先判斷，直接開始測試，而在測試過程中如果上下腔之間沒有放置試樣，系統無法知曉，試驗繼續進行，輕則本次試驗失敗，重則導致傳感器損壞；

(2)現有的氣體滲透測試設備大多采用測試上腔和測試下腔相結合的方式，當進行批量試樣的測試時，需要保證各個測試結構的上下腔的環境一致，控制精度較低，最終的測試結果也存在較大的誤差；

(3)現有的氣體滲透測試系統大都是將傳感元件和電氣元件放置在測試腔的下方，在進行溫濕度的控制時，容易產生冷凝水或者出現冷卻水的泄漏，進而對傳感元件和電氣元件產生較大的影響；

(4)現有的氣體滲透測試系統，測試上腔將被測試樣壓緊在下腔上，在更換被測試樣時，都是打開測試上腔，完成試樣的更換，此種結構占用空間大，兩個或兩個以上的多腔結構只能采用平鋪方式排列，更換試樣時，需要打開測試上腔，一旦操作有誤，測試上腔容易滑落到測試下腔上，傷及操作人員和造成零部件的損壞。

發明內容

為了解決現有技術的不足，本公開提供了一種薄膜滲透測試的腔體結構、設備及方法，可以檢測出測試腔體間是否放置試樣，有效的避免了無效的試驗和傳感器的損壞；實現了無上腔測試，在進行批量測試時能夠保證溫濕度的一致性，實現更精確的批量測試，提高了測試精度。

為了實現上述目的，本公開采用如下技術方案：

本公開第一方面提供了一種薄膜滲透測試的腔體結構。

一種薄膜滲透測試的腔體結構，包括：

測試腔體；

測試腔體的開口一側開有用于與試樣相對的凹槽，測試腔體開有與凹槽連通的抽氣端口，測試腔體還開有分別與測試腔體的內腔連通的載氣進氣端口和載氣出氣端口。

作為可能的一些實現方式，凹槽內設有真空環，且真空環為多孔網狀支撐體。

作為可能的一些實現方式，凹槽為繞測試腔體的內腔開口的閉環凹槽。

作為可能的一些實現方式，凹槽為繞測試腔體的內腔開口的非閉環凹槽。

作為可能的一些實現方式，凹槽為繞測試腔體的內腔開口的多個間隔設置的凹槽。

作為可能的一些實現方式，凹槽為繞測試腔體的內腔開口的多個凹槽，且相鄰的兩個凹槽之間開有與抽氣端口連通的至少一個孔。

作為可能的一些實現方式，每個測試腔體包括至少一個內腔，每個內腔對應一個獨立的開口。

本公開第二方面提供了一種薄膜滲透測試的腔體結構。

一種薄膜滲透測試的腔體結構，包括：

測試腔體；