[發明專利]一種用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法

在審

• 申請號: 202011524795.8
• 申請日: 2020-12-22
• 公開（公告）號: CN112683973A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 李衛;黃文勝;楊瑩
• 申請（專利權）人: 世源科技工程有限公司
• 主分類號: G01N27/30
• 分類號: G01N27/30;G01N27/416;G05D27/02
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 丁睿

本發明涉及半導體行業中SO₂濃度的檢測領域，公開一種用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法，包括：收集待檢測氣體，將收集后的待檢測氣體通過四電極電化學二氧化硫傳感器依據預定的檢測策略進行多次檢測，以獲取多個氣體濃度檢測值；根據多個氣體濃度檢測值獲取待檢測氣體濃度值。這里通過將待檢測氣體收集至收集袋中，并通過四電極電化學二氧化硫傳感器對待檢測氣體的濃度進行檢測，四電極電化學二氧化硫傳感器檢測精度高，并且為了進一步提高檢測精度，這里依據設定的檢測策略對待檢測氣體進行多次檢測，并將獲取的待檢測氣體的檢測值經過一系列的計算得到最終的待檢測氣體濃度值。

技術領域

本發明涉及半導體行業中SO₂濃度的檢測的技術領域，特別涉及一種用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法。

背景技術

在半導體行業和以低溫多晶硅薄膜晶體管為代表的高性能平板顯示行業，隨著產品集成度的提高，線寬越來越細，空氣中的懸浮氣態分子污染物(Airborne MolecularContaminants,簡稱AMC)對制程的潛在危害越來越受到人們的重視。在AMC中SO₂的濃度大小或以SO₂和H₂S等硫化物組成的全硫氣氛的濃度大小對制程中產品良率的影響最為嚴重。SO₂或全硫濃度檢測的精度一般要達到ppbv以下的精度量級，全硫濃度的檢測目前是以SO₂濃度的檢測為基礎的，因此實現穩定的高精度的SO₂氣氛的在線檢測非常重要。

發明內容

本發明公開了一種用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法，用于提高SO₂氣氛的在線檢測精度。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法，包括：

收集待檢測氣體，將收集后的待檢測氣體通過四電極電化學二氧化硫傳感器依據預定的檢測策略進行多次檢測，以獲取多個氣體濃度檢測值；

根據所述多個氣體濃度檢測值獲取待檢測氣體濃度值。

這里通過將待檢測氣體收集至收集袋中，并通過四電極電化學二氧化硫傳感器對待檢測氣體的濃度進行檢測，四電極電化學二氧化硫傳感器檢測精度高，并且為了進一步提高檢測精度，這里依據設定的檢測策略對待檢測氣體進行多次檢測，并將獲取的待檢測氣體的檢測值經過一系列的計算得到最終的待檢測氣體濃度值，通過上述方法實現了對二氧化硫氣氛低成本高精度的檢測。

可選地，所述根據所述多個氣體濃度檢測值獲取待檢測氣體濃度值，具體包括：

將所述多個氣體濃度檢測值進行平均計算，得到所述待檢測氣體濃度值。

可選地，所述預定的檢測策略具體包括：

將收集待檢測氣體通過四電極電化學二氧化硫傳感器分不同時間段進行多次檢測。

可選地，所述預定的檢測策略具體包括：

多次收集待檢測氣體，并將收集的不同批次待檢測氣體通過四電極電化學二氧化硫傳感器進行多批次檢測。

可選地，所述四電極電化學二氧化硫傳感器根據修正條件，在確定需要修訂時對所述四電極電化學二氧化硫傳感器進行零點修正。

可選地，所述四電極電化學二氧化硫傳感器在滿足下列條件中部分或全部時確定進行零點修訂：

條件一、所述四電極電化學二氧化硫傳感器的使用時間大于第一閾值時；

條件二、所述四電極電化學二氧化硫傳感器的使用次數大于第二閾值時。