[發(fā)明專利]一種用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011524795.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-22
• 公開（公告）號(hào): CN112683973A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李衛(wèi);黃文勝;楊瑩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 世源科技工程有限公司
• 主分類號(hào): G01N27/30
• 分類號(hào): G01N27/30;G01N27/416;G05D27/02
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 丁睿

1.一種用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，包括：

收集待檢測(cè)氣體，將收集后的待檢測(cè)氣體通過四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器依據(jù)預(yù)定的檢測(cè)策略進(jìn)行多次檢測(cè)，以獲取多個(gè)氣體濃度檢測(cè)值；

根據(jù)所述多個(gè)氣體濃度檢測(cè)值獲取待檢測(cè)氣體濃度值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，所述根據(jù)所述多個(gè)氣體濃度檢測(cè)值獲取待檢測(cè)氣體濃度值，具體包括：

將所述多個(gè)氣體濃度檢測(cè)值進(jìn)行平均計(jì)算，得到所述待檢測(cè)氣體濃度值。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，所述預(yù)定的檢測(cè)策略具體包括：

將收集待檢測(cè)氣體通過四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器分不同時(shí)間段進(jìn)行多次檢測(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，所述預(yù)定的檢測(cè)策略具體包括：

多次收集待檢測(cè)氣體，并將收集的不同批次待檢測(cè)氣體通過四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器進(jìn)行多批次檢測(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器根據(jù)修正條件，在確定需要修訂時(shí)對(duì)所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器進(jìn)行零點(diǎn)修正。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器在滿足下列條件中部分或全部時(shí)確定進(jìn)行零點(diǎn)修訂：

條件一、所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器的使用時(shí)間大于第一閾值時(shí)；

條件二、所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器的使用次數(shù)大于第二閾值時(shí)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，獲取所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器所處的環(huán)境條件，根據(jù)所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器在確定需要調(diào)節(jié)環(huán)境條件時(shí)，對(duì)所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器所處的環(huán)境條件進(jìn)行調(diào)節(jié)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)方法，其特征在于，所述獲取所述四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器所處的環(huán)境條件通過以下方式中的部分或全部：

方式一、通過溫度傳感器獲取溫度值；

方式二、通過濕度傳感器獲取濕度值。