[發(fā)明專利]一種雙余度壓力傳感器及其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011520777.2
• 申請(qǐng)日: 2020-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN112729621A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃平;陶捷鎧;李闖;張一強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州長(zhǎng)風(fēng)航空電子有限公司
• 主分類號(hào): G01L1/00
• 分類號(hào): G01L1/00;B23K26/21
• 代理公司: 北京清大紫荊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11718
• 代理人: 李思瓊;張卓

本發(fā)明提供了一種雙余度壓力傳感器及其制造方法，該傳感器包括一個(gè)充油芯體和一個(gè)進(jìn)壓頭，所述充油芯體包括底座，所述底座上均勻間隔設(shè)置兩片感壓芯片，所述底座的外壁設(shè)置外螺紋圈，所述進(jìn)壓頭的內(nèi)壁設(shè)置內(nèi)螺紋圈，使所述充油芯體與所述進(jìn)壓頭螺紋連接。本發(fā)明能夠減小產(chǎn)品體積、降低設(shè)計(jì)、工藝難度，可自行找準(zhǔn)同心位置，避免浪費(fèi)。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及雙余度壓力傳感器設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種雙余度壓力傳感器及其制造方法。

背景技術(shù)

目前，雙余度壓力傳感器是由兩只充油芯體與進(jìn)壓頭進(jìn)行焊接實(shí)現(xiàn)，一般產(chǎn)品體積較大、成本較高。且焊接時(shí)經(jīng)常由于充油芯體與進(jìn)壓頭焊接位置不同心產(chǎn)生泄漏，對(duì)進(jìn)壓頭、焊接工裝設(shè)計(jì)以及焊接工藝要求較高。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)目前雙余度壓力傳感器體積較大、成本高，對(duì)設(shè)計(jì)、工藝要求較高，并且易出現(xiàn)因工件不同心導(dǎo)致焊接不良，造成浪費(fèi)的問題，本發(fā)明提出一種雙余度壓力傳感器及其制造方法，能夠減小產(chǎn)品體積、降低設(shè)計(jì)、工藝難度，可自行找準(zhǔn)同心位置，避免浪費(fèi)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種雙余度壓力傳感器，包括一個(gè)充油芯體和一個(gè)進(jìn)壓頭，所述充油芯體包括底座，所述底座上均勻間隔設(shè)置兩片感壓芯片，所述底座的外壁設(shè)置外螺紋圈，所述進(jìn)壓頭的內(nèi)壁設(shè)置內(nèi)螺紋圈，使所述充油芯體與所述進(jìn)壓頭螺紋連接。

在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述充油芯體中還包括陶瓷，所述底座上兩片感壓芯片的兩側(cè)均填充所述陶瓷。

在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述充油芯體中還包括隔離膜片，所述隔離膜片焊接固定在所述底座的連接端。

本發(fā)明還提供一種上述的雙余度壓力傳感器的制造方法，包括如下步驟：

步驟1、固晶：

將兩片感壓芯片通過硅橡膠粘貼在底座上，再經(jīng)過金絲鍵合將壓力信號(hào)傳遞到底座引腳上，實(shí)現(xiàn)雙信號(hào)輸出；

步驟2、封膜：

采用氬弧焊接將金絲隔離膜片、焊環(huán)、底座連接，實(shí)現(xiàn)底座內(nèi)腔與介質(zhì)隔離；

步驟3、焊接：

底座通過螺紋結(jié)構(gòu)與進(jìn)壓頭進(jìn)行連接，之后進(jìn)行連續(xù)激光焊接；

步驟4、充油：

使用真空充油設(shè)備通過底座注油孔進(jìn)行真空充油，采用鋼球?qū)⒂头獯嬖诘鬃小?/p>

在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，步驟2中還包括：先在底座的內(nèi)腔中填充陶瓷，再采用氬弧焊接將金絲隔離膜片、焊環(huán)、底座連接。

本發(fā)明的一種雙余度壓力傳感器及其制造方法，其有益效果在于：相比傳統(tǒng)雙余度充油芯體體積大、成本高、設(shè)計(jì)和工藝要求高、易造成浪費(fèi)的情況，本發(fā)明只需要一個(gè)充油芯體，降低材料成本，可實(shí)現(xiàn)最小尺寸15mm*10mm(不含接口螺紋)。并且，本發(fā)明的進(jìn)壓頭設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，只需一個(gè)芯體安裝位置，減少一次焊接。避免了因不同心導(dǎo)致焊接缺陷，造成浪費(fèi)的問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本公開實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本公開的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中一種雙余度壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中一種雙余度壓力傳感器充油芯體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例中一種雙余度壓力傳感器充油芯體鍵合示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本公開實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。