[發(fā)明專利]芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011515315.1
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112666448A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王銳;婁建和;吳彩平
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇艾科半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 南京申云知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32274
• 代理人: 田沛沛;邱興天

1.一種芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：歸類針卡分布圖，為每一類分布圖配置對應(yīng)的驅(qū)動程序；

S2：根據(jù)歸類情形制作包含所有驅(qū)動程序的列表，并制作相應(yīng)的批處理文件；

S3：執(zhí)行批處理文件，選擇驅(qū)動程序編號，批處理程序則自動向測試機(jī)主機(jī)操作系統(tǒng)注冊所用的探針臺驅(qū)動。

S4：空跑CP測試，得到探針臺晶芯坐標(biāo)和測試機(jī)晶芯坐標(biāo)，進(jìn)行坐標(biāo)比對，確認(rèn)無誤后，進(jìn)行晶圓CP量產(chǎn)測試。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，其特征在于：步驟S1中，將常見的20種針卡分布?xì)w納為9類分布圖，為每一類分布圖配置對應(yīng)的驅(qū)動程序。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，其特征在于：步驟S1中，每一個驅(qū)動程序中所用的參數(shù)確定給出，應(yīng)用到驅(qū)動程序中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，其特征在于：確定給出的參數(shù)包括所測第一個晶芯坐標(biāo)、同時所測的晶芯數(shù)、晶芯坐標(biāo)偏移量、每次測試時第二個晶芯相對第一個晶芯的坐標(biāo)在X方向的相對關(guān)系和每次測試時第二個晶芯相對第一個晶芯的坐標(biāo)在Y方向的相對關(guān)系。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，其特征在于：步驟S2中，列表為驅(qū)動選擇指導(dǎo)表，并根據(jù)所用針卡分布情況，提供對應(yīng)驅(qū)動名稱。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，其特征在于：步驟S3中，執(zhí)行批處理文件，會提示所用的驅(qū)動程序編號，操作者選擇驅(qū)動程序編號即可進(jìn)行后續(xù)處理程序。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，其特征在于：步驟S4中，采用坐標(biāo)映射圖對比工具進(jìn)行探針臺晶芯坐標(biāo)和測試機(jī)晶芯坐標(biāo)的對比，判斷兩者是否匹配，如果完全匹配則進(jìn)行量產(chǎn)測試，如果不匹配則返回檢查。