[發明專利]一種射頻器件量測系統及方法在審

申請號：	202011507991.4	申請日：	2020-12-18
公開（公告）號：	CN112698175A	公開（公告）日：	2021-04-23
發明（設計）人：	張棘勇;章景恒	申請（專利權）人：	武漢衍熙微器件有限公司
主分類號：	G01R31/26	分類號：	G01R31/26
代理公司：	深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570	代理人：	張曉薇
地址：	430000 湖北省武漢市江夏區經濟開發區***	國省代碼：	湖北;42
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種射頻器件系統方法
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【說明書】：

本發明公開了一種射頻器件量測系統及方法，包括量測裝置、探針臺、數據存儲服務器以及數據處理服務器，通過將所述探針臺依次連接晶圓上的晶粒，在所述探針臺連接所述多個晶粒中的目標晶粒時，通過量測裝置獲取目標晶粒的散射參數并傳輸至所述數據存儲服務器，并使探針臺連接下一個晶粒，然后通過數據存儲服務器存儲所述目標晶粒的散射參數，最后通過所述數據處理服務器根據預設的量測參數數據，對所述數據存儲服務器中所述目標晶粒的散射參數進行處理，生成所述量測參數的參數數據，可使現有的量測設備能發揮更高的效率，從而無需投入更多相對昂貴的量測設備，既可滿足產能的要求，也能解決現有量測系統造成的資源浪費和量測過程耗時長的缺陷。

技術領域

本發明涉及信息處理技術領域，尤其涉及一種射頻器件量測系統及方法。

背景技術

隨著半導體工藝的發展，射頻器件的尺寸越來越小，相應的單片晶圓上的器件個數越來越多。隨著產能的增長，勢必對射頻器件的量測速度提出更高的要求。現有的量測系統是通過網絡分析儀對獲取的散射參數進行計算，才能得到量測結果。而采用現有的量測系統，由于網絡分析儀的計算過程耗時較長，并且網絡分析儀在計算的過程中探針臺是一直處于等待狀態，從而造成了資源浪費，進而使得整個量測過程耗時過長。

為了滿足產能的要求和解決現有量測系統的缺陷，可以投入更多的量測設備。但由于相關的量測設備如探針臺、網絡分析儀等設備所需的成本比較高，而通過投入更多量測設備的這種方式則需要大量的資金投入。因此需要尋找一種成本較低的方式來提高對射頻器件的量測速度。

發明內容

本發明的基本思想如下：由于投入更多的量測設備如探針臺、網絡分析儀等設備所需的成本比較高，與此同時，隨著計算機技術的發展，存儲資源和計算資源越來越富余，因此可通過在現有的量測系統中，增加額外的存儲資源和計算資源來存儲和計算射頻器件的散射參數，可使現有的量測設備能發揮更高的效率，從而無需投入更多相對昂貴的量測設備，既可滿足產能的要求，也能解決現有量測系統造成的資源浪費和量測過程耗時長的缺陷。

本發明實施例的目的是提供一種射頻器件量測系統，在不投入更多的量測設備的情況下，能夠提高對射頻器件的量測效率，并且極大程度的降低了量測成本和時間成本。

為實現上述目的，本發明實施例提供了一種射頻器件量測系統，包括量測裝置、探針臺、數據存儲服務器以及數據處理服務器；

所述探針臺，用于依次連接晶圓上的多個晶粒；

所述量測裝置，用于在所述探針臺連接所述多個晶粒中的目標晶粒時，獲取所述目標晶粒的散射參數并傳輸至所述數據存儲服務器，并使探針臺連接下一個晶粒；

所述數據存儲服務器，用于存儲所述目標晶粒的散射參數；

所述數據處理服務器，用于根據預設的量測參數，對所述數據存儲服務器中所述目標晶粒的散射參數進行處理，生成所述散射參數的參數數據。

進一步的，所述數據處理服務器，還用于根據預設的量測參數，從預設的策略池中選擇對應的計算策略，以根據所述計算策略對所述目標晶粒對應的散射參數進行計算，生成所述量測參數的參數數據。

進一步的，所述預設的量測參數包括由至少一個性能參數組成的性能參數集合，所述參數數據包括所述性能參數集合中每個性能參數對應的量測值；

所述數據處理服務器，還用于根據每個性能參數，從數據存儲服務器中獲取相應的散射參數，并對獲取的散射參數進行處理，生成每個性能參數對應的量測值；

所述數據存儲服務器，還用于存儲所述數據處理服務器生成的量測值。

進一步的，所述數據處理服務器，還用于將每個性能參數對應的量測值與預設相對應的目標值范圍進行比較，以判斷所述目標晶粒是否合格；

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