[發(fā)明專利]成膜裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011507274.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN113005422A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 巖崎達(dá)哉;內(nèi)田敏治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 佳能特機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/04
• 代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 鄧宗慶

1.一種成膜裝置，具有成膜室、成膜源以及連結(jié)構(gòu)件，所述成膜源能夠在所述成膜室內(nèi)移動(dòng)，所述連結(jié)構(gòu)件連結(jié)所述成膜室的壁部和所述成膜源，向所述成膜源供給電力的配線插通于所述連結(jié)構(gòu)件的內(nèi)部，其特征在于，

所述連結(jié)構(gòu)件具有至少一個(gè)移動(dòng)體和將所述移動(dòng)體與所述成膜室的壁部或所述成膜源連接的連接部，

在所述連接部的內(nèi)部設(shè)置有與所述配線連接的非接觸送電受電線圈。

2.一種成膜裝置，具有成膜室、成膜源以及連結(jié)構(gòu)件，所述成膜源能夠在所述成膜室內(nèi)移動(dòng)，所述連結(jié)構(gòu)件連結(jié)所述成膜室的壁部和所述成膜源，向所述成膜源供給電力的配線插通于所述連結(jié)構(gòu)件的內(nèi)部，其特征在于，

所述連結(jié)構(gòu)件具有相互連接的多個(gè)移動(dòng)體，

在連接所述多個(gè)移動(dòng)體的部分的內(nèi)部設(shè)置有與所述配線連接的非接觸送電受電線圈。

3.如權(quán)利要求1或2所述的成膜裝置，其特征在于，

所述成膜源是濺射靶。

4.如權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其特征在于，

所述成膜源具有第一靶單元和第二靶單元，所述第一靶單元具有第一靶，所述第二靶單元具有第二靶，

所述非接觸送電受電線圈具有接收側(cè)線圈和發(fā)送側(cè)線圈，

與所述接收側(cè)線圈的一端電連接的所述配線與所述第一靶單元電連接，

與所述接收側(cè)線圈的另一端電連接的所述配線與所述第二靶單元電連接。

5.如權(quán)利要求4所述的成膜裝置，其特征在于，

所述成膜裝置具有雙極電源，所述雙極電源能夠?qū)εc所述發(fā)送側(cè)線圈的一端電連接的所述配線和與所述發(fā)送側(cè)線圈的另一端電連接的所述配線施加相反極性的電壓。

6.如權(quán)利要求4或5所述的成膜裝置，其特征在于，

所述第一靶單元和所述第二靶單元是被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的圓筒形狀的部件。

7.如權(quán)利要求6所述的成膜裝置，其特征在于，

所述第一靶單元和所述第二靶單元平行地配置。

8.如權(quán)利要求1或2所述的成膜裝置，其特征在于，

所述成膜源是蒸鍍成膜材料的蒸發(fā)源。