[發明專利]能夠保持FOUP的蓋部的潔凈度的裝載端口及設備前端模塊

有效

• 申請號: 202011506727.9
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112242338B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 蘇建生;呂天爽
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253
• 代理人: 李斌棟;姚勇政

1.一種能夠保持FOUP的蓋部的潔凈度的裝載端口，其特征在于，所述裝載端口包括：

壁部，所述壁部形成有各自沿著豎直方向延伸的第一縫隙和第二縫隙；

用于封閉所述壁部的開口的門部，所述門部能夠連結FOUP的蓋部的外表面；

用于支撐所述門部的第一支撐件和第二支撐件，所述第一支撐件構造成經由所述第一縫隙延伸穿過所述壁部，所述第二支撐件構造成經由所述第二縫隙延伸穿過所述壁部，所述第一支撐件和所述第二支撐件能夠沿著豎直方向移動，以使連結至所述門部的所述蓋部以內表面面對所述壁部的方式在第一位置與第二位置之間移動，在所述第一位置中，所述蓋部在豎直方向上與所述FOUP的出口相對，在所述第二位置中，所述蓋部在豎直方向上偏離所述出口使得儲存在所述FOUP中的硅片能夠被取出；

其中，所述第一縫隙和所述第二縫隙在所述壁部中布置成，當所述蓋部移動至所述第二位置時，所述第一縫隙和所述第二縫隙在水平方向上分別位于所述蓋部的兩側，使得所述蓋部的內表面與完整的壁部區域相對。

2.根據權利要求1所述的裝載端口，其特征在于，所述裝載端口還包括具有平整表面的板材，所述板材在所述裝載端口中設置成使得，當所述蓋部移動至所述第二位置時，所述蓋部的內表面與所述板材的所述平整表面相對。

3.根據權利要求2所述的裝載端口，其特征在于，所述板材由聚碳酸酯纖維制成。

4.根據權利要求1所述的裝載端口，其特征在于，所述裝載端口還包括用于承載所述FOUP的水平載臺，所述水平載臺構造成能夠將所述FOUP承載在與所述裝載端口的門部相對的位置處。

5.根據權利要求1所述的裝載端口，其特征在于，所述門部包括至少一個用于吸附所述FOUP的蓋部的外表面的吸附件。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的裝載端口，其特征在于，所述第一支撐件和所述第二支撐件還構造成分別能夠沿著水平方向移動，以使連結至所述門部的蓋部在第三位置與所述第一位置之間移動，在所述第一位置中，所述蓋部在水平方向上離開所述FOUP的出口，在所述第三位置中，所述蓋部將所述FOUP的出口封閉。

7.根據權利要求6所述的裝載端口，其特征在于，所述裝載端口還包括相對于所述壁部設置在所述FOUP同一側的移動引導機構，所述移動引導機構用于引導所述第一支撐件和所述第二支撐件沿著豎直方向和水平方向移動。

8.根據權利要求7所述的裝載端口，其特征在于，所述移動引導機構包括：

相對于所述壁部固定地設置的豎直引導部；

構造成在所述豎直引導部上滑動的滑塊；

設置在所述滑塊上的水平引導部；

其中，所述第一支撐件和所述第二支撐件的與支撐所述門部的第一端部相反的第二端部構造成與所述水平引導部相配合以使所述第一支撐件和所述第二支撐件沿著所述水平引導部移動。

9.一種設備前端模塊，其特征在于，所述設備前端模塊包括：

硅片輸送裝置，用于輸送儲存在FOUP中的硅片；

包圍所述硅片輸送裝置的殼體；

設置在所述殼體中以與所述殼體一起將所述硅片輸送裝置圍閉的至少一個根據權利要求1至8中任一項所述的裝載端口。

10.根據權利要求9所述的設備前端模塊，其特征在于，所述設備前端模塊還包括設置在所述殼體內部的風扇過濾單元，所述風扇過濾單元用于在所述殼體內部提供向下流動的潔凈空氣流。