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[發明專利]集成芯片在審

專利信息
申請號: 202011498189.3 申請日: 2020-12-17
公開(公告)號: CN113161411A 公開(公告)日: 2021-07-23
發明(設計)人: 賈漢中 申請(專利權)人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L29/423 分類號: H01L29/423;H01L29/78;H01L27/11507
代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003 代理人: 王宇航;黃艷
地址: 中國臺*** 國省代碼: 臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 集成 芯片
【權利要求書】:

1.一種集成芯片,包括:

一對源極/漏極區,設置于一基板中;

一柵極介電層,設置于該基板上方并橫向設置于該對源極/漏極區之間;及

一鐵電結構,位于該柵極介電層上方,其中該鐵電結構包括一鐵電層及一側壁間隔物結構,其中該側壁間隔物結構連續橫向地包繞該鐵電層,且其中該鐵電層包括一第一金屬氧化物,且該側壁間隔物結構包括不同于該第一金屬氧化物的一第二金屬氧化物。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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