[發(fā)明專利]一種拋光液供給性能核準裝置和化學機械拋光系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011494774.6
• 申請日: 2020-12-17
• 公開（公告）號: CN112658970A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 許振杰;梁清波
• 申請（專利權）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B37/005
• 分類號: B24B37/005;B24B37/34;B24B49/00;B24B57/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，包括固定座、水平板和定位件，所述固定座可拆卸地設置于拋光盤的外周壁，所述水平板連接于所述固定座的頂部并朝向拋光盤的中心設置，所述定位件設置于固定座的側部并位于水平板的下部；所述定位件的內側壁為圓弧結構，所述圓弧結構的尺寸與拋光墊的外徑相匹配；所述水平板設置于拋光墊與拋光液供給臂之間，拋光液經由所述拋光液供給臂的端部滴落至所述水平板的頂面，水平板的頂面設置有刻度線以量測拋光液的滴落位置。

2.如權利要求1所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，所述定位件的圓弧結構與所述拋光盤同心設置。

3.如權利要求2所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，所述定位件的部分或全部位于所述拋光盤的上側，所述定位件位于所述拋光盤上側的高度大于所述拋光墊的厚度。

4.如權利要求1所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，所述水平板朝向拋光盤的端面的投影線與拋光盤的中心點重合，所述刻度線為圓弧線，所述圓弧線的圓心與所述拋光盤或拋光墊的中心重合。

5.如權利要求1所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，還包括顯示試紙，其設置于所述水平板的頂面，拋光液滴落至顯示試紙后，所述顯示試紙的顏色發(fā)生改變。

6.如權利要求5所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，所述顯示試紙與拋光液匹配設置，其粘接于所述水平板的頂面。

7.如權利要求1所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，所述水平板平行于所述拋光墊設置，所述水平板的底面與拋光墊的頂面之間的間距為5mm-10mm。

8.如權利要求1所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，所述固定座、水平板和定位件由非金屬材料制成。

9.如權利要求8所述的拋光液供給性能核準裝置，其特征在于，所述水平板和定位件由聚苯硫醚制成。

10.一種化學機械拋光系統(tǒng)，其特征在于，包括權利要求1至9任一項所述的拋光液供給性能核準裝置。