[發明專利]一種光刻機靜電消除裝置

在審

• 申請號: 202011488399.4
• 申請日: 2020-12-16
• 公開（公告）號: CN112490166A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 鐘敏
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/027;H05F3/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 黨蕾

1.一種光刻機靜電消除裝置，其特征在于，應用于晶圓傳輸過程中去除所述晶圓表面的靜電，包括：

一預對準機構，所述預對準機構具有一預對準臺，用于對所述晶圓進行預對準；

一傳輸通道，所述傳輸通道內設有一導軌，所述導軌的一端固定連接于所述預對準臺的一側；

一晶圓傳輸載臺，所述晶圓傳輸載臺設置于所述導軌上，用于放置所述晶圓，并沿著所述導軌的方向傳輸；

一工作臺，設置于所述傳輸通道的上方；

一靜電消除裝置，固定設置于所述工作臺上，且位于所述傳輸通道的下方，于所述晶圓沿著所述導軌傳輸時，消除所述晶圓表面的靜電。

2.如權利要求1所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述靜電消除裝置包括一固定支架和離子棒，所述離子棒固定安裝于所述固定支架上。

3.如權利要求2所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述固定支架呈L形。

4.如權利要求2所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述固定支架上設有多個呈間隔分布的安裝孔，所述離子棒固定安裝于所述安裝孔中。

5.如權利要求2所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述離子棒包括離子針和銅管，所述離子針鑲嵌入所述銅管內；

所述離子針上設有多個孔洞，所述孔洞均勻分布在所述離子針上。

6.如權利要求5所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述孔洞面向所述固定支架設置。

7.如權利要求1所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述靜電消除裝置設置于所述工作臺的上表面，或嵌入于所述工作臺的容納腔中。

8.如權利要求1所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述靜電消除裝置采用靜電消除器實現。

9.如權利要求1所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述靜電消除裝置設有2個，2個所述靜電消除裝置間隔設置于所述傳輸通道的正上方。

10.如權利要求1所述的光刻機靜電消除裝置，其特征在于，所述靜電消除裝置與所述晶圓相隔一預設距離。