[發(fā)明專利]爐管工藝的派工優(yōu)化方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011486070.4
• 申請日: 2020-12-16
• 公開（公告）號: CN112614795B
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王帝;陳旭;魏崢穎
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

本發(fā)明提供了一種爐管工藝的派工優(yōu)化方法，包括：對所有晶圓按照機臺允許存放的位置的不同進行分組；采集和預(yù)測晶圓到達(dá)爐管站點的時間；根據(jù)晶圓的分組信息，生成第一批次晶圓內(nèi)的所有晶圓的派工方案，以形成方案池；依次生成每一批次晶圓的方案池，每一批次晶圓的方案池都基于上一批次的方案池所生成，當(dāng)某一批次晶圓具有兩種或兩種以上相同的派工方案時，保留優(yōu)勢派工方案，淘汰劣勢派工方案，被淘汰的派工方案不能參與下一批次晶圓的方案池的形成；對所有批次晶圓進行方案池生成和派工方案淘汰，最后保留一個派工方案。本發(fā)明可以減少人工派工時間，減少因人工失誤導(dǎo)致晶圓派工出錯的幾率，并且可以提高機臺使用效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種爐管工藝的派工優(yōu)化方法。

背景技術(shù)

爐管工藝機臺存在多個放置晶圓的位置，由于放置位置會影響晶圓的物理和化學(xué)特性，因此生產(chǎn)過程中對不同產(chǎn)品和類型的晶圓在爐管機臺的放置位置有著嚴(yán)格的要求。現(xiàn)有技術(shù)中使用的人工按現(xiàn)有規(guī)則將不同類型的晶圓分放到不同位置，然而這種方法可能因人為疏忽導(dǎo)致放置錯誤。并且由于人工在派工過程中考慮不全面，不充分，會導(dǎo)致派工不合理而導(dǎo)致機臺產(chǎn)能浪費。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種爐管工藝的派工優(yōu)化方法，可以減少人工，可以節(jié)省時間，從而可以提高出貨效率，并且還能減少晶圓存放出錯的幾率。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種爐管工藝的派工優(yōu)化方法，用于對多個晶圓在進行爐管工藝時的派工方法進行優(yōu)化，包括：

對所有晶圓按照機臺允許存放的位置的不同進行分組；

采集和預(yù)測晶圓到達(dá)爐管站點的時間，參照晶圓生產(chǎn)等級，以先進先出的原則確定晶圓的派工順序；

根據(jù)晶圓的分組信息，生成第一批次晶圓內(nèi)的所有晶圓的派工方案，所有派工方案形成方案池；

根據(jù)派工順序依次生成每一批次晶圓的方案池，每一批次晶圓的方案池都基于上一批次的方案池所生成，當(dāng)某一批次晶圓具有兩種或兩種以上相同的派工方案時，對相同的派工方案進行比較，保留優(yōu)勢派工方案，淘汰劣勢派工方案，被淘汰的派工方案不能參與下一批次晶圓的方案池的形成；

對所有批次晶圓進行方案池生成和派工方案淘汰，最后保留一個派工方案。

可選的，在所述的爐管工藝的派工優(yōu)化方法中，對所有晶圓按照機臺允許存放的位置的不同進行分組的方法包括：

獲取不同產(chǎn)品的晶圓在爐管站點的允許存放的位置；

按照允許存放的位置依次對工單內(nèi)的晶圓進行標(biāo)記；

將工單內(nèi)標(biāo)記一致的晶圓分為同一組。

可選的，在所述的爐管工藝的派工優(yōu)化方法中，按照允許存放的位置依次對工單內(nèi)的晶圓進行標(biāo)記的方法包括：若能存放在機臺某一位置的格子內(nèi)，則標(biāo)記為1，若不能存放在機臺某一位置的格子內(nèi)，則標(biāo)記為0；依次判斷完所有晶圓，以得到完整標(biāo)記。

可選的，在所述的爐管工藝的派工優(yōu)化方法中，將工單內(nèi)標(biāo)記一致的晶圓分為同一組的方法包括：將完整標(biāo)記相同的晶圓分為同一組。

可選的，在所述的爐管工藝的派工優(yōu)化方法中，每一個位置的格子最多能夠放12片或13片晶圓。

可選的，在所述的爐管工藝的派工優(yōu)化方法中，采集和預(yù)測晶圓到達(dá)爐管站點的時間，在考慮晶圓生產(chǎn)等級的基礎(chǔ)上，以先進先出的原則確定組內(nèi)晶圓的派工順序的方法包括：

以爐管站點當(dāng)站和爐管站點前幾個站點的晶圓信息為基礎(chǔ)，獲取晶圓到達(dá)爐管站點時間；

考慮晶圓生產(chǎn)等級，以先進先出的原則確定派工順序。