[發(fā)明專利]一種晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011482902.5
• 申請(qǐng)日: 2020-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN112485879A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梅力;胡冬云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇卓玉智能科技有限公司
• 主分類號(hào): G02B7/02
• 分類號(hào): G02B7/02;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，包括安裝座、第一連接座和第二連接座，安裝座下端面分別安裝第一安裝孔和第二安裝孔，所述第一連接座、第二連接座分別通過裝夾機(jī)構(gòu)固定于第一安裝孔和第二安裝孔，第一連接座螺紋連接第一鏡頭套筒安裝座，第一鏡頭套筒安裝座上安裝第一鏡頭套筒，第一鏡頭套筒上安裝第一鏡頭，第二連接座螺紋連接第二鏡頭套筒安裝座，第二鏡頭套筒安裝座上安裝第二鏡頭套筒，第二鏡頭套筒上安裝第二鏡頭，本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎，采用雙鏡頭檢測(cè)，能夠提高檢測(cè)精度，此外，雙鏡頭便于拆裝和保養(yǎng)，延長(zhǎng)了其使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅。

目前的晶圓檢測(cè)用鏡頭模組結(jié)構(gòu)單一，使用便利性差，因此，有必要進(jìn)行改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組, 包括安裝座、第一連接座和第二連接座，所述安裝座下端面分別安裝第一安裝孔和第二安裝孔，所述第一連接座、第二連接座分別通過裝夾機(jī)構(gòu)固定于第一安裝孔和第二安裝孔，所述第一連接座螺紋連接第一鏡頭套筒安裝座，所述第一鏡頭套筒安裝座上安裝第一鏡頭套筒，所述第一鏡頭套筒上安裝第一鏡頭，所述第二連接座螺紋連接第二鏡頭套筒安裝座，所述第二鏡頭套筒安裝座上安裝第二鏡頭套筒，所述第二鏡頭套筒上安裝第二鏡頭。

優(yōu)選的，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，其中，所述裝機(jī)構(gòu)包括第一裝夾塊、第二裝夾塊、第三裝夾塊和第四裝夾塊，所述第一裝夾塊與安裝孔側(cè)壁之間連接第一頂緊氣缸，所述第二裝夾塊與安裝孔側(cè)壁之間連接第二頂緊氣缸，所述第三裝夾塊與安裝孔側(cè)壁之間連接第三頂緊氣缸，所述第四裝夾塊與安裝孔側(cè)壁之間連接第四頂緊氣缸。

優(yōu)選的，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，其中，所述第一裝夾塊、第二裝夾塊、第三裝夾塊和第四裝夾塊均采用弧形結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，其中，所述安裝座一側(cè)固定安裝板，所述安裝座上端面開設(shè)鏡筒安裝孔。

優(yōu)選的，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，其中，所述安裝座側(cè)壁還安裝信號(hào)插接孔。

優(yōu)選的，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，其中，所述第一鏡頭一側(cè)固定安裝第一光源，所述第二鏡頭一側(cè)固定安裝第二光源。

優(yōu)選的，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N晶圓檢測(cè)雙鏡頭模組，其中，所述第一裝夾塊、第二裝夾塊、第三裝夾塊和第四裝夾塊內(nèi)側(cè)壁分別安裝橡膠墊。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎，采用雙鏡頭檢測(cè)，能夠提高檢測(cè)精度，此外，雙鏡頭便于拆裝和保養(yǎng)，延長(zhǎng)了其使用壽命；其中，本發(fā)明采用的裝夾機(jī)構(gòu)裝夾效率高，穩(wěn)定性好，能夠提高鏡頭安裝筒的拆裝效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明裝夾機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：安裝座1、第一連接座2、第二連接座3、第一安裝孔4、第二安裝孔5、第一鏡頭套筒安裝座6、第一鏡頭套筒7、第一鏡頭8、第二鏡頭套筒安裝座9、第二鏡頭套筒10、第二鏡頭11、第一裝夾塊12、第二裝夾塊13、第三裝夾塊14、第四裝夾塊15、第一頂緊氣缸16、第二頂緊氣缸17、第三頂緊氣缸18、第四頂緊氣缸19、安裝板20、鏡筒安裝孔21、信號(hào)插接孔22、第一光源23、第二光源24、橡膠墊25。

具體實(shí)施方式